FPCTE-Play 等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)

參考價(jià): 面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

型號(hào)FPCTE-Play
品牌
所在地
更新時(shí)間2023-03-30

孚光精儀（中國）有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
入駐年限第1年
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量1482
人氣值7800

產(chǎn)品標(biāo)簽

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等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)采用更大的腔室和等離子ALD模塊,獲得更好的原子層沉積效果

等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)采用更大的腔室和等離子ALD模塊,獲得更好的原子層沉積效果。
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)特點(diǎn)
腔室圓柱形和工程設(shè)計(jì)的流型均勻性。
適用于多種不同的基板和沉積材料。
出于安全目的，在分離的區(qū)域進(jìn)行前體、泵送、捕集和控制。
用戶友好且易于訪問所有組件
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
不銹鋼腔室
具有4-8條不同前體（冷和熱）管線的前體進(jìn)料系統(tǒng)
配備快速氣動(dòng)閥的前體進(jìn)料系統(tǒng)。
多段溫度控制：前體、加熱夾套，范圍0-200ºC，分辨率1ºC腔室，范圍0-300ºC，分辨率1ºC–腔室的管道入口和出口，范圍0-150ºC，分辨率1ºC。
基本壓力為10-1/10-3毫巴。
工具尺寸，1000x600x1000mm。
帶觸摸屏的控制系統(tǒng)：
系統(tǒng)狀態(tài)信息：氣體流量、溫度、壓力和閥門。
過程監(jiān)控：壓力和溫度。偏差警報(bào)和安全鎖。
配方處理和實(shí)時(shí)監(jiān)控。
自動(dòng)蓋和人體工程學(xué)設(shè)計(jì)。視覺和聲音警報(bào)。

關(guān)鍵詞：原子層沉積系統(tǒng) 氣動(dòng)閥觸摸屏控制系統(tǒng)

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