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FPCTE-Play 等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)

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  • 型號FPCTE-Play
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2023-06-17
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 產(chǎn)品數(shù)量10
  • 人氣值90
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孚光精儀公司品牌源于早期的東歐地區(qū)和德國進(jìn)口光學(xué)材料和儀器的進(jìn)口服務(wù)。公司創(chuàng)始股東們足跡遍布捷克,愛沙尼亞,羅馬尼亞,白俄羅斯,立陶宛,法國,英國,意大利,奧地利,丹麥,比利時(shí),以及德國 漢堡,法蘭克福,柏林,慕尼黑,紐倫堡,德累斯頓等科技強(qiáng)國和強(qiáng)市,對整個(gè)歐洲特別是東歐和德國的技術(shù)產(chǎn)品和精密儀器的質(zhì)量有可靠的把握。長期以來,德國在科學(xué)研究、技術(shù)創(chuàng)新和儀器研發(fā)領(lǐng)域具有的優(yōu)勢。德國的科學(xué)儀器以技術(shù)*,質(zhì)量可靠而著稱。孚光精儀早期專注于選擇德國和東歐國家可靠的供應(yīng)商,為用戶提供了道質(zhì)量保障。公司派送員工前往原廠進(jìn)行技術(shù)培訓(xùn),從而具備為遠(yuǎn)東地區(qū)用戶提供快速高效的技術(shù)服務(wù)能力,這一舉措深得用戶和制造商的高度贊譽(yù)。因此,孚光精儀的事業(yè)在服務(wù)客戶的同時(shí)獲得超常發(fā)展,快速成長為*儀器的規(guī)模型供應(yīng)商和技術(shù)服務(wù)商。目前,孚光精儀已經(jīng)把產(chǎn)品原產(chǎn)地?cái)U(kuò)展到整個(gè)歐洲和美國,形成了以歐洲和美國為供貨來源地的良好局面。
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等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)采用更大的腔室和等離子ALD模塊,獲得更好的原子層沉積效果
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)采用更大的腔室和等離子ALD模塊,獲得更好的原子層沉積效果。
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)特點(diǎn)
腔室圓柱形和工程設(shè)計(jì)的流型均勻性。
適用于多種不同的基板和沉積材料。
出于安全目的,在分離的區(qū)域進(jìn)行前體、泵送、捕集和控制。
用戶友好且易于訪問所有組件
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
不銹鋼腔室
具有4-8條不同前體(冷和熱)管線的前體進(jìn)料系統(tǒng)
配備快速氣動閥的前體進(jìn)料系統(tǒng)。
多段溫度控制:前體、加熱夾套,范圍0-200ºC,分辨率1ºC腔室,范圍0-300ºC,分辨率1ºC–腔室的管道入口和出口,范圍0-150ºC,分辨率1ºC。
基本壓力為10-1/10-3毫巴。
工具尺寸,1000x600x1000mm。
帶觸摸屏的控制系統(tǒng):
系統(tǒng)狀態(tài)信息:氣體流量、溫度、壓力和閥門。
過程監(jiān)控:壓力和溫度。偏差警報(bào)和安全鎖。
配方處理和實(shí)時(shí)監(jiān)控。
自動蓋和人體工程學(xué)設(shè)計(jì)。視覺和聲音警報(bào)。
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