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  • 磁控濺射系統(tǒng)

FPTOR-MagSput 磁控濺射系統(tǒng)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號FPTOR-MagS
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-03-30
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1482
  • 人氣值7772
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磁控濺射系統(tǒng)MagSput是下一代磁控濺射沉積系統(tǒng),實用性腔,可擴展性高,且高度可靠,非常適合磁控濺射鍍膜科學研究
磁控濺射系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

磁控濺射系統(tǒng)MagSput™是下一代磁控濺射沉積系統(tǒng),實用性腔,可擴展性高,且高度可靠,非常適合磁控濺射鍍膜科學研究。
磁控濺射系統(tǒng)可定制。該腔室可設(shè)計為接受額外的蒸發(fā)源,未使用的端口用法蘭封閉,以便將來添加。
磁控濺射系統(tǒng)附加設(shè)備可以包括磁控管槍、熱阻源或電子束蒸發(fā)。
磁控濺射系統(tǒng)MagSput™是專為研發(fā)和原型生產(chǎn)而設(shè)計的柔性平面磁控濺射系統(tǒng)。該系統(tǒng)可用于開發(fā)各種應用的沉積工藝,包括多層光學涂層、傳感器設(shè)備、太陽能電池、燃料電池、薄膜研究、超導體研究、ASIC、MEMs、磁性設(shè)備和生物醫(yī)學研究。
柔性平面磁控濺射
磁控濺射系統(tǒng)MagSput™易于重新配置,適用于需要不同系列沉積材料的應用。該系統(tǒng)處理直徑達12英寸的晶片,并容納奇數(shù)尺寸的基板。此外,由于多槍能力,可以進行共濺射、不破壞真空的順序濺射和反應濺射(使用活性氣體混合物)。帶有特殊安裝的獨立火炮可進行角度調(diào)整。
磁控濺射系統(tǒng)MagSput™采用基于Labview™的軟件,帶來了、用戶友好的計算機控制™ ,該軟件的自動過程控制確保了更有效的沉積以及操作的簡便性。手動選項可輕松啟動和故障排除。
磁控濺射系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)
電拋光不銹鋼腔室(D形盒)
帶手動快門的前門上的4“直徑觀察口
具有各種靶尺寸的單/多磁控管槍組件
所有光源的手動快門組件
直流/射頻濺射沉積
匹配雙級旋轉(zhuǎn)葉片泵的渦輪分子真空泵系統(tǒng)
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數(shù)字讀數(shù)的質(zhì)量流量控制器
帶顯示和讀數(shù)的全量程真空計
容易的目標安裝
半自動控制系統(tǒng)

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