對(duì)于需要獨(dú)立熱離子規(guī)技術(shù)的應(yīng)用，Trigon™ 系列中包含了采用單一技術(shù)的 Bayard-Alpert 熱電離規(guī) BAG552。
BAG552 專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測(cè)量而設(shè)計(jì)。支持雙燈絲，具有出色的精度、可重復(fù)性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計(jì)控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。
Trigon™ BAG552中真空至超高真空單真空計(jì)
對(duì)于需要獨(dú)立熱離子規(guī)技術(shù)的應(yīng)用，Trigon™ 系列中包含了采用單一技術(shù)的 Bayard-Alpert 熱電離規(guī) BAG552。BAG552 專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測(cè)量而設(shè)計(jì)。支持雙燈絲，具有出色的精度、可重復(fù)性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計(jì)控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。
優(yōu)勢(shì)：
1、純粹的 Bayard-Alpert 測(cè)量系統(tǒng)，適用于超高壓和高壓測(cè)量范圍
2、雙燈絲設(shè)計(jì)
3、電隔離電子設(shè)備，避免雜散電流
4、滑動(dòng)發(fā)射模式，避免在切換發(fā)射流時(shí)出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
5、可移動(dòng)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片，延長(zhǎng)了烘烤時(shí)間
6、設(shè)定點(diǎn)繼電器
7、明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面
8、模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
9、可與 VGC50x 控制器系列配合使用
10、符合 RoHS 規(guī)范
典型應(yīng)用：
1、半導(dǎo)體工藝中的壓力測(cè)量
2、工業(yè)鍍膜
3、高真空至超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制
