超高真空激光分子束外延集群系統(tǒng) laser cluster將不同的薄膜和分析技術(shù)結(jié)合成一個(gè)強(qiáng)大的系統(tǒng)。最多可將七個(gè)單獨(dú)的腔室連接到傳輸模塊，從而在超高真空條件下實(shí)現(xiàn)復(fù)雜的處理！
超高真空激光分子束外延集群系統(tǒng)的核心是傳輸模塊和負(fù)載鎖定室。額外的沉積、分析和專門(mén)的轉(zhuǎn)移模塊很容易添加到系統(tǒng)中。由于系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(jì)（每個(gè)模塊都安裝在帶輪子的獨(dú)立支架上），這是一個(gè)快速而簡(jiǎn)單的過(guò)程。
超高真空激光分子束外延集群系統(tǒng)的設(shè)計(jì)既節(jié)省了空間，又提供了的可接近性：所有真空室均為獨(dú)立式，便于接近所有法蘭和部件。
轉(zhuǎn)移室和傳輸模塊
轉(zhuǎn)移和處理室是集群超高真空激光分子束外延集群系統(tǒng)的核心，高度靈活，可適應(yīng)不同的工藝模塊。它安裝在一個(gè)堅(jiān)固的鋼架上，并具有用于六個(gè)或八個(gè)附加腔室的對(duì)接法蘭。它還包括系統(tǒng)的烘烤加熱器組件，包括一個(gè)帶循環(huán)風(fēng)扇的12 kW加熱器。其他功能包括：
六/八個(gè)端口（一個(gè)由負(fù)載鎖占據(jù)），帶有CF63（4½”）或CF150（8”）法蘭
鈦升華/離子吸氣劑組合泵在低壓下的高抽運(yùn)速度
低10−10毫巴標(biāo)度基準(zhǔn)壓力
精確的重型機(jī)械手/轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，能夠處理直徑為6”、重量為1 kg、三個(gè)自由度（伸展、旋轉(zhuǎn)、高度）的負(fù)載
轉(zhuǎn)移系統(tǒng)可以轉(zhuǎn)移襯底/樣品，也可以轉(zhuǎn)移激光MBE室的PLD靶盒
樣品和目標(biāo)轉(zhuǎn)盤(pán)的可選內(nèi)部存儲(chǔ)系統(tǒng)
帶頂置顯示屏的攝像系統(tǒng)，方便監(jiān)控傳輸
傳輸系統(tǒng)可以進(jìn)行修改，以適應(yīng)各個(gè)附加分析或處理系統(tǒng)的要求。
超高真空激光分子束外延集群系統(tǒng)的核心是傳輸模塊和負(fù)載鎖定室。額外的沉積、分析和專門(mén)的轉(zhuǎn)移模塊很容易添加到系統(tǒng)中。由于系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(jì)（每個(gè)模塊都安裝在帶輪子的獨(dú)立支架上），這是一個(gè)快速而簡(jiǎn)單的過(guò)程。
超高真空激光分子束外延集群系統(tǒng)的設(shè)計(jì)既節(jié)省了空間，又提供了的可接近性：所有真空室均為獨(dú)立式，便于接近所有法蘭和部件。
轉(zhuǎn)移室和傳輸模塊
轉(zhuǎn)移和處理室是集群超高真空激光分子束外延集群系統(tǒng)的核心，高度靈活，可適應(yīng)不同的工藝模塊。它安裝在一個(gè)堅(jiān)固的鋼架上，并具有用于六個(gè)或八個(gè)附加腔室的對(duì)接法蘭。它還包括系統(tǒng)的烘烤加熱器組件，包括一個(gè)帶循環(huán)風(fēng)扇的12 kW加熱器。其他功能包括：
六/八個(gè)端口（一個(gè)由負(fù)載鎖占據(jù)），帶有CF63（4½”）或CF150（8”）法蘭
鈦升華/離子吸氣劑組合泵在低壓下的高抽運(yùn)速度
低10−10毫巴標(biāo)度基準(zhǔn)壓力
精確的重型機(jī)械手/轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，能夠處理直徑為6”、重量為1 kg、三個(gè)自由度（伸展、旋轉(zhuǎn)、高度）的負(fù)載
轉(zhuǎn)移系統(tǒng)可以轉(zhuǎn)移襯底/樣品，也可以轉(zhuǎn)移激光MBE室的PLD靶盒
樣品和目標(biāo)轉(zhuǎn)盤(pán)的可選內(nèi)部存儲(chǔ)系統(tǒng)
帶頂置顯示屏的攝像系統(tǒng)，方便監(jiān)控傳輸
傳輸系統(tǒng)可以進(jìn)行修改，以適應(yīng)各個(gè)附加分析或處理系統(tǒng)的要求。
