等離子源：
等離子體射頻電源：110V 或220VAC, 50/60 Hz,<100W
輸出頻率： 13.56 MHz
三檔射頻功率大?。?/span> 7.2W. 10.5W 和 18W （可調(diào)節(jié)）
腔體尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16"L
儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2 torr（用機械泵)
滑動法蘭：
•有一滑軌法蘭安裝于移動架上，以便于樣品的放入和取出。
樣品可以放入加熱線圈內(nèi)，以達到更好的加熱效率和溫度的均勻性。
•加熱圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使樣品達到的溫度為400℃
•加熱圈上套有一2" ID x 75mmL的石英罩，以減小熱量損失
•溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，同時可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為：+/-1℃
輸入電源： AC220V
兩通道混氣系統(tǒng)：
•混氣箱上安裝有兩個浮子流量計，其量程為10-100SCCM
•三個機械壓力表：-0.1-0.15 MPa,
•混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥
•配有三根1/4"的聚四氟乙烯管
•混氣箱尺寸：340Lx300Dx 180H, mm （13.4"x12"x7")!
凈重: 14 1bs.
真空和氣體接口：
標(biāo)準(zhǔn)的真空配置有
•一套3"的不銹鋼法蘭（上面安裝有KF-25的真空泵接口，一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)
•一根KF25的波紋管（長度為1m)和三KF25卡箍
•一個數(shù)字式真空顯示計
•等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體，如N2, Ar, Air,以及各種混合性氣體。
•可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進氣流量，確保等離子體達到樣品處
(注意:不可通入易燃易爆性氣體)
真空泵：
•儀器中配有一雙旋機械真空泵，其抽氣速率為120L/min,
進氣口為KF25接口，可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr
移動架：
設(shè)備中配有— 600L x 600W x600H （mm)的移動架，整個CVD系統(tǒng)可以安置于其上面
儀器尺寸：
•等離子源： 8.5"Hx10"Wx 8"D
•溫控盒： 4"Hx10"Wx 8"D
移動架：600 x600x600mm
重量：
701b(包含真空泵)
質(zhì)保期：
一年質(zhì)保期（不包含石英管和密封圈）
