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微型PECVD系統(tǒng)

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  • 更新時(shí)間2022-04-02
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量185
  • 人氣值1692
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上海繪吉電子科技有限公司主要代理歐、美、日及國(guó)內(nèi)*科學(xué)儀器、工業(yè)質(zhì)檢儀器及相關(guān)消耗品,專業(yè)涉及高校、新能源、鋼鐵行業(yè)、科研研究及輕工化工、在國(guó)內(nèi)特別是華東地區(qū)具有廣泛的客戶基礎(chǔ)和良好的商業(yè)信譽(yù)。經(jīng)過幾年的發(fā)展,繪吉公司已經(jīng)在同行業(yè)中確立了多方面的好的地位,無論在公司規(guī)模、人員素質(zhì)、經(jīng)營(yíng)品種、銷售能力和售后服務(wù)等各方面獲得了同行及用戶的廣泛認(rèn)可。 上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質(zhì)譜儀,粒度儀,真空系列等分析類設(shè)備),電池材料制備設(shè)備,實(shí)驗(yàn)室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實(shí)驗(yàn)室耗材。。
上海繪吉電子科技有限公司從事分析類儀器(熒光光譜儀,質(zhì)譜儀,粒度儀等分析類設(shè)備),德國(guó)普發(fā)真空設(shè)備,電池材料制備設(shè)備,實(shí)驗(yàn)室儀器,理化分析類儀器,微生物儀器,生理儀器及實(shí)驗(yàn)室耗材。
上海繪吉-德國(guó)普發(fā)真空Pfeiffer Vacuum-作為*的真空技術(shù)解決方案的供應(yīng)商之一。我們不僅擁有全系列的混合軸承及全磁懸浮渦輪分子泵, 同時(shí)還擁有各種旋片泵,干泵,羅茨泵,氦氣質(zhì)譜檢漏儀,真空規(guī),四級(jí)質(zhì)譜儀等產(chǎn)品以及真空管件和綜合真空系統(tǒng)。 從普發(fā)1958年發(fā)明渦輪分子泵至今, 我們?cè)诜治?、研發(fā)、鍍膜、太陽能、半導(dǎo)體和其他工業(yè)領(lǐng)域,始終代表著創(chuàng)新的解決方案、高品質(zhì)、穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品和的服務(wù)。公司自1890年創(chuàng)立至今百余年,現(xiàn)有將近2300名員工,20多家分公司遍布,并且在德國(guó)、法國(guó)、羅馬尼亞、韓國(guó)設(shè)有生產(chǎn)制造基地。
隨著中國(guó)綜合國(guó)力的提升,產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級(jí),以及對(duì)節(jié)能減排,科研和高精尖制造工藝的強(qiáng)烈需求,對(duì)真空技術(shù)的需求也在不斷的提升。作為德國(guó) Pfeiffer Vacuum GmbH 的全資子公司,普發(fā)真空技術(shù)上海有限公司 Pfeiffer Vacuum (Shanghai) Co., Ltd. 于 2007 年正式入駐中國(guó)上海,標(biāo)志著普發(fā)真空在中國(guó)的業(yè)務(wù)已經(jīng)初具規(guī)模,以及公司對(duì)中國(guó)持續(xù)增長(zhǎng)的信心。公司現(xiàn)坐落于上海市浦東新區(qū)世紀(jì)公園附近,并且在江蘇無錫建有 4000m2 的售后服務(wù)工廠。
上海繪吉電子科技有限公司獲得深圳科晶智達(dá)科技有限公司一級(jí)代理權(quán),科晶為研究新一代可充電電池,超級(jí)電容器與快速儲(chǔ)能材料提供完整的成套解決方案。方案定位于鋰電池的研究市場(chǎng),主要為大專院校、科研院所以及生產(chǎn)企業(yè)提供實(shí)驗(yàn)室用的小型混壓設(shè)備和機(jī)械加工與測(cè)試等一系列產(chǎn)品,提供研發(fā)環(huán)節(jié)所需的電池能源材料制備相關(guān)設(shè)備產(chǎn)品與成套實(shí)驗(yàn)室方案:“混料-燒料-分析-涂層-成型-封裝-測(cè)試”設(shè)備:球磨機(jī)、高溫高壓爐、材料分析儀、涂層機(jī)、軋機(jī)、切片機(jī)、封裝機(jī)、電池分析儀等。
上海繪吉電子科技有限公司成功和進(jìn)口公司合作。德國(guó)普發(fā)真空設(shè)備,德國(guó)布魯克儀器有限公司,*分析儀器有限公司,美國(guó)PE公司,美國(guó)熱電儀器有限公司,天美科技有限公司,島津,萊卡儀器,日本horriba,梅特勒等進(jìn)口公司

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微型PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

這款小型PECVD,其腔體為 3" dia x 16" L的石英腔體,而且加熱圈在石英腔體內(nèi)部對(duì)樣品進(jìn)行加熱,此系統(tǒng)配有2通道混氣系統(tǒng)和雙旋機(jī)械泵。整套儀器都按放在一個(gè)移動(dòng)架上,以便于實(shí)驗(yàn)操作。等離子腔體內(nèi)部的溫度可以達(dá)到400℃,采用程序化控溫。此款小型廉價(jià)的PECVD系統(tǒng)對(duì)于薄膜生長(zhǎng)和納米線的制作是一款很好的選擇。

技術(shù)參數(shù)
等離子源

● 等離子體射頻電源:110V 或220VAC, 50/60 Hz, < 100W

● 輸出頻率: 13.56 MHz

● 三檔射頻功率大小: 7.2W. 10.5W 和 18W (可調(diào)節(jié))

● 腔體尺寸:3"OD x 2.7"ID x 16" L

● 儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2 torr(用機(jī)械泵)

1
滑動(dòng)法蘭

● 有一滑軌法蘭安裝于移動(dòng)架上,以便于樣品的放入和取出

● 樣品可以放入加熱線圈內(nèi),以達(dá)到更好的加熱效率和溫度的均勻性

加熱圈和溫控系統(tǒng)

● 加熱圈尺寸:50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使樣品達(dá)到的溫度為400℃

● 加熱圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩,以減小熱量損失

● 溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,同時(shí)可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為: +/-1oC

● 輸入電源: AC 220V, 功率:500W

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      Coil heater     Quartz protective tube    Temp. Controller      Heating coil         Alumina boat
兩通道混氣系統(tǒng)

● 混氣箱上安裝有兩個(gè)浮子流量計(jì),其量程為10-100SCCM

● 三個(gè)機(jī)械壓力表:-0.1-0.15 MPa

● 混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥

● 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

● 混氣箱尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm( 13.4"x12"x7")

● 凈重: 14 lbs

真空和氣體接口

標(biāo)準(zhǔn)的真空配置有

● 一套3"的不銹鋼法蘭(上面安裝有KF-25的真空泵接口,一個(gè)1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)

● 一根KF25的波紋管(長(zhǎng)度為1m)和三KF25卡箍

● 一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)

● 等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體,如N2, Ar, Air ,以及各種混合性氣體

● 可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進(jìn)氣流量,確保等離子體達(dá)到樣品處

● (注意:不可通入易燃易爆性氣體)

真空泵

● 儀器中配有一雙旋機(jī)械真空泵,其抽氣速率為120L/min

● 進(jìn)氣口為KF25接口,可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr

移動(dòng)架

設(shè)備中配有一 600L x 600W x 600H(mm)的移動(dòng)架,整個(gè)CVD系統(tǒng)可以安置于其上面

儀器尺寸

● 等離子源: 8.5" H x 10" W x 8" D

● 溫控盒: 4"H x 10"W x 8"D

● 移動(dòng)架:600 x 600 x 600mm

重量70 lb (包含真空泵)
質(zhì)保期一年質(zhì)保期(不包含石英管和密封圈)
質(zhì)量認(rèn)證CE 認(rèn)證
熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價(jià)地區(qū)公司名稱更新時(shí)間 
箱式電阻爐NWTX-13 面議 武漢市 武漢庫爾特科技有限公司 2024-02-25 在線詢價(jià)
箱式電阻爐 面議 北京市 北京西潤(rùn)斯儀器儀表有限公司 2024-05-09 在線詢價(jià)
硅酸鋁陶瓷纖維爐膛電阻爐 ¥50000 濟(jì)南市 山東德瑞克儀器股份有限公司 2024-09-10 在線詢價(jià)
北京凱興德茂高溫箱式電阻爐 面議 北京市 北京凱興德茂儀器設(shè)備有限公司 2024-10-22 在線詢價(jià)
電阻爐KSW-6-12A+SX-5-12 面議 北京市 北京海富達(dá)科技有限公司 2021-04-06 在線詢價(jià)
節(jié)能纖維電阻爐SX3-4-10 面議 北京市 北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司 2024-05-14 在線詢價(jià)
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