產品特點：

•真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統的石英管連接；

•兩個爐體在一個滑軌上，可通過爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果!

加熱爐參數：

•連續(xù)工作溫度：1100℃

•兩個爐體都可設置30段升降溫程序

•高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）

•電源：AC220，50Hz   功率：3KW

手套箱參數:

•帶有除水系統：保持水含量< 2 ppm

•真空法蘭在手套箱的左邊，與PECVD系統的石英管連接

射頻電源：

真空系統：

•·采用TRP-12的雙旋真空泵；

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

•真空度可達10-2Torr。

供氣系統（可選）：

•客戶可選購四通道質子流量計控制系統實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

•流量范圍：

•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

產品尺寸：

爐體尺寸：1600mm(L) -430mm(W)-500mm(H)

手套箱尺寸：780mm(L)-700mm(W)-650mm(H)

質保：

一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件