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  • 滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD

OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL 滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)OTF-1200X-
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2023-05-02
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
  • 入駐年限8
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量437
  • 人氣值666
產(chǎn)品標(biāo)簽

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OTF-1200X-1I-4CV-PE-SL是一款滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 管式爐系統(tǒng)。該系統(tǒng)包含等離子射頻電源,80mm 0D1800mm L的滑動(dòng)式雙溫區(qū)管式爐,4通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)和機(jī)械泵機(jī)組,可用于生長(zhǎng)納米或石墨烯材料。
滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點(diǎn):

射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度;

滑軌式可快速加熱和快速冷卻;

兩個(gè)加熱區(qū),溫度梯度可達(dá) 200°c;

可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如碳、Zn0納米管或納米線及單層石墨烯等。

加熱爐參數(shù):

溫度:1200°C<30min),連續(xù)工作溫度:1100℃;

兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng);

輸入功率:208-240V,單相,功率:3KW;

高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗;

爐體開(kāi)啟式設(shè)計(jì),以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫,方便更換爐管。

射頻電源:

 

image.png 

真空系統(tǒng):

•·采用TRP-12的雙旋真空泵;

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

真空度可達(dá)10-2Torr

供氣系統(tǒng)(可選):

客戶(hù)可選購(gòu)四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%;

流量范圍:

image.png 

電壓:208-240VAC, 50/60Hz;

氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出;

• PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量:

設(shè)備總體尺寸:2200mmL 800mmW 1500mmH

凈重:610kg

注意:

采用氬氣高于射頻功率200W情況下,需特殊說(shuō)明:設(shè)備需要特殊改造幾測(cè)試,(有法蘭過(guò)熱情況)

質(zhì)保:

一年保質(zhì)期,終身維護(hù),不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件

因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)


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