實(shí)驗(yàn)機(jī)理：
•輝光放電等離子體中：電子密度高10A3-10A12cm3
電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍
產(chǎn)品特點(diǎn)：
•雖環(huán)境溫度在100-300℃，但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應(yīng)物的活性。因此，這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜。
•科晶公司提供定制的薄膜材料的實(shí)驗(yàn)室質(zhì)量可靠、價(jià)格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng)。
•下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質(zhì)量流量計(jì)和高真空系統(tǒng)氣體組成
開(kāi)啟式管式爐：
•工作溫度：1200℃
•爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用
•溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器
•加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm
•功率：AC220V 4KW
等離子射頻電源：
•輸出功率：50-500W可調(diào)+1%
•RF頻率： 13.56MHz，穩(wěn)定性+0.005%
•噪聲：《55DB
•冷卻：風(fēng)冷
•輸入功率：1KW AC220V
真空泵和閥門(mén)：
•采用KF25系列波紋管和精密針閥連接
•真空度可達(dá)10-3torr
本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測(cè)量范圍為3.8x1o-5 至 1125Torr不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。
質(zhì)子流量計(jì)：
•內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量
•氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%
•一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥
•不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入
•進(jìn)氣口：采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭
外行尺寸：
•爐體：550*380*520mm
•供氣及真空系統(tǒng)：600*600*597mm
•凈重：120KG
開(kāi)門(mén)斷電：
為保證使用安全，該電爐為開(kāi)門(mén)斷電設(shè)計(jì)
質(zhì)保期：
一年質(zhì)保期相關(guān)耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件
使用注意事項(xiàng)：
•爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
•由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全
•當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)
•進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊
•石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃
對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02Mpa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）
