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NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌其他品牌
  • 所在地國外
  • 更新時間2022-11-09
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限4
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量40
  • 人氣值689
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那諾-馬斯特中國有限公司成立于2015年4月,是服務大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,中國臺灣和澳門)的客戶,同時我們在中國大陸設(shè)有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術(shù)服務。


那諾-馬斯特中國的主要產(chǎn)品包括薄膜沉積設(shè)備、薄膜生長設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、兆聲濕法清洗設(shè)備及太空模擬測試設(shè)備等等。Nano-Master的前身是那諾-馬斯特美國,該公司是法國那諾-馬斯*限公司于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國際前列的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管那諾-馬斯特美國并正式更名。


自2001年Nano-Master開始設(shè)計開發(fā)薄膜應用方面的設(shè)備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應用領(lǐng)域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術(shù)和光伏等。我們的設(shè)備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。三十年左右的時間內(nèi)Nano-Master已經(jīng)發(fā)展成為國際薄膜設(shè)備的供應商,已售出的幾百套設(shè)備分布于20多個不同國家的大學、研發(fā)中心和國家重點實驗室。

我們聘用技術(shù)熟練并具有良好教育背景的設(shè)計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術(shù)支持人員,使得公司擁有專業(yè)的服務團隊。作為薄膜工藝的設(shè)備提供商,我們的目標是提供高品質(zhì)的服務并始終維持超高水平的集成度。






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NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng):立式自動系統(tǒng),帶有水冷或者加熱(Z高可加熱到700度)功能,Z大到6“旋轉(zhuǎn)平臺,Z大可支持到4個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng)概述:帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能,可達到6"旋轉(zhuǎn)平臺,支持到4個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達10-7 Torr,15分鐘內(nèi)可以達到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離,可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

NSC-4000(A)帶有14”立方形不銹鋼腔體,42”的磁控管,DC直流和RF射頻電源。 在選配方面,350 l/s渦輪分子泵,額外的磁控管和襯底加熱功能。


NSC-4000(A)全自動磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點:

  • 不銹鋼腔體

  • 260l/s或350l/s的渦輪分子泵,串接機械泵或干泵

  • 13.56MHz,300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源

  • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片

  • 基于LabView軟件的PC計算機控制

  • 帶密碼保護功能的多級訪問控制

  • *的安全聯(lián)鎖功能

  • 預真空鎖以及自動晶圓片上/下載片


選配項:

  • RF、DC濺射

  • 熱蒸鍍能力

  • RFDC偏壓(1000V

  • 樣品臺可加熱到700°C

  • 膜厚監(jiān)測儀

  • 基片的RF射頻等離子清洗

應用:

  • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆

  • 光學以及ITO涂覆

  • 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆

  • RF射頻等離子放電的反應濺射



關(guān)鍵詞:直流電源
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