PICOFLOW 擴散增強原子層沉積系統(tǒng)-儀表網(wǎng)

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北京正通遠恒科技有限公司成立于2001年,是一家經(jīng)營歐美和日本等國*科學測試儀器和設(shè)備,并將*進技術(shù)引入國內(nèi)的科技服務(wù)型企業(yè).經(jīng)過十年的發(fā)展，公司在北京、上海、廣州、武漢均設(shè)有辦事處。

公司用受人尊敬的、專業(yè)的方式來經(jīng)營公司的業(yè)務(wù)（HONOPROF comes from our philosophy---- doing business in an HONOurable and PROFessional way）。

公司的主營儀器包括：分子相互作用分析儀器、表/界面分析測試儀器、界面/混凝土流變儀、薄膜沉積與表征儀器等。

公司愿景：
公司愿意成為深刻了解客戶心理、全面滿足客戶需求，以應(yīng)用為基礎(chǔ)的專業(yè)儀器設(shè)備供應(yīng)商、專有技術(shù)提供商，實現(xiàn)公司在行業(yè)內(nèi)的超常規(guī)發(fā)展。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

PICOFLOW™系統(tǒng)的目的是減緩反應(yīng)氣體從反應(yīng)腔中排出，從而增加其在反應(yīng)腔中的停留時間。這允許前驅(qū)體有更長的時間擴散至樣品表面，對于提高通孔、高度曲折、納米多孔、粉末或具有其它結(jié)構(gòu)的納米尺寸材料表面薄膜覆蓋率起到關(guān)鍵作用。PICOFLOW™擴散增強器能夠?qū)崿F(xiàn)*深寬比樣品表面的鍍膜，且不會出現(xiàn)前驅(qū)體回流至源管線中的現(xiàn)象。

原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

原子層沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
襯底尺寸和類型

zui大300mm晶圓/單片
200mm晶圓25片/批次（標準間距）
150mm晶圓50片/批次（標準間距）
100mm晶圓75片/批次（標準間距）
高深寬比（HAR）樣品
原子層沉積系統(tǒng)工藝溫度

50 –500 °C
基片傳送選件

預(yù)真空室安裝磁力操作機械手（Load lock ）
半自動的機械裝載
集群系統(tǒng)的批量裝載（Cassette-to-cassette ）
批量裝載，帶翻轉(zhuǎn)傳送系統(tǒng)（flipping mechanism）
真空批量裝載
氮氣柜裝載
前驅(qū)體

液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源、等離子體
源瓶容量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)
6根獨立源管線，zui多加載12個前驅(qū)體源
重量

820 kg
尺寸 (W x H x D)

160 cm x 80 cm x 240 cm
選件

集群工具，PICOFLOW? 擴散增強器，集成橢偏儀，QCM，RGA，N2發(fā)生器，尾氣處理
器，定制設(shè)計，手套箱集成（用于惰性氣體下裝載），與工廠軟件連接服務(wù)。
驗收標準

標準設(shè)備驗收標準為 Al2O3 工藝，
其他工藝可具體協(xié)商：其他工藝、應(yīng)用特別驗收標準如：
--不均勻性
--顆粒物含量
--重金屬污染
--電學性能

關(guān)鍵詞：原子層沉積系統(tǒng) 標準機械手傳感器橢偏儀

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
宜賓環(huán)保門禁車輛出入監(jiān)控系統(tǒng)	￥5000	成都市	成都華信萬通科技有限公司	2024-11-28	在線詢價
個體聲暴露計（英國CASELLA）	面議	北京市	北京菁美瑞科技有限公司	2024-11-23	在線詢價
9.自動煎藥器	￥4200	湘西土家族苗族自治州	吉首市中誠制藥機械廠	2024-08-21	在線詢價
配電柜設(shè)備	面議	滁州市	安徽天康(集團)股份有限公司	2024-08-06	在線詢價
環(huán)保門禁電子臺賬系統(tǒng)，門禁監(jiān)測，節(jié)能環(huán)保	￥4500	成都市	成都華信萬通科技有限公司	2024-06-27	在線詢價
粉塵防爆打磨拋光吸塵工作臺	￥5099	無錫市	江蘇杰碩環(huán)?？萍加邢薰?/span>	2024-03-06	在線詢價

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