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R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-08-11
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量167
  • 人氣值262
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R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

標準基板尺寸與類型

50 mm - 200 mm 單晶片

156 mm × 156 mm 太陽能硅晶片

3D 對象

粉末和顆粒

小批量

多孔、通孔和高縱橫比(高達 1:2500)


工藝溫度

50℃ - 500℃


標準工藝

Al2O3、TiO2、SiO2、Ta2O5、HfO2、ZnO、ZrO2、TiN、AlN、Pt 或 Ir 等金屬


基板裝載

使用氣動升降機手動裝載

帶磁性機械臂的負載鎖


前驅(qū)體

液體、固體、氣體、臭氧

多達 6 個源、帶 4 個獨立入口


其他選項

Picoflow™ 擴散增強劑、RGA、N2 發(fā)生器、氣體洗滌器、定制設計、惰性裝載手套箱兼容性

熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
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