廣泛的工作條件與精密測(cè)量功能相結(jié)合
● 適合功率器件表征的綜合解決方案,高達(dá) 1500 A 和 10 kV
● 中等電流測(cè)量和高電壓偏置(例如,500 mA,1200 V)
● μΩ 導(dǎo)通電阻測(cè)量功能
● 高電壓偏置時(shí),可進(jìn)行精確的 sub-pA 電平電流測(cè)量
● 在 -50℃ 至 +250℃ 溫度范圍內(nèi)進(jìn)行全自動(dòng)熱測(cè)試
廣泛的器件測(cè)量功能
● 可在高達(dá) 3000 V 直流偏置時(shí)執(zhí)行全自動(dòng)電容測(cè)量(Ciss、Coss、Crss 等)
● 10 μs 高功率脈沖測(cè)量
● 封裝器件和晶圓上 IGBT/FET 柵極電荷測(cè)量
● 高電壓/強(qiáng)電流快速切換選件,適用于 GaN 電流崩塌效應(yīng)表征
● 多達(dá) 5 個(gè)高電壓(3 kV)電源/測(cè)量通道,提供大靈活性
● 通過(guò)互鎖測(cè)試夾具執(zhí)行安全的與溫度相關(guān)的測(cè)試
改進(jìn)的測(cè)量效率
● 在高電壓和強(qiáng)電流測(cè)量之間自動(dòng)切換,無(wú)需重新布線
● 自動(dòng)測(cè)試電路形成,可用于封裝器件和晶圓上器件的晶體管結(jié)電容(Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等)測(cè)量
● 具有互鎖機(jī)制的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試夾具,可進(jìn)行封裝功率器件測(cè)試
● 支持高達(dá) 200 A 和 10 kV 的高功率晶圓上測(cè)試
● 示波器視圖支持對(duì)應(yīng)用電壓和電流波形的驗(yàn)證
● MS Windows EasyEXPERT 軟件簡(jiǎn)化了數(shù)據(jù)管理和分析流程
可升級(jí)和可擴(kuò)展的硬件體系結(jié)構(gòu)
● 廣泛的測(cè)量模塊選擇
● 支持具有高達(dá) 6 個(gè)連接引腳的高功率器件
● Keysight B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀能夠?qū)?sub-pA 電平至 10 kV 和 1500 A 的高功率器件進(jìn)行表征的綜合解決方案。這些功能可對(duì)新器件(例如 IGBT)和材料(例如 GaN 和 SiC)進(jìn)行測(cè)量。B1505A 支持各種模塊:高電壓 SMU(HVSMU)、強(qiáng)電流 SMU(HCSMU)、電流(UHC)模塊、超高電壓(UHV)模塊和高電壓中等電流(HVMC)模塊。B1505A 還支持:高功率 SMU(1 A/200 V)、中等功率 SMU(100 mA/100 V)、中等電流 SMU(1 A/30V 脈沖,100 mA/30V 直流)和多頻電容測(cè)量單元(1 kHz – 5 MHz)。B1505A的10 插槽模塊化主機(jī)支持您對(duì)其進(jìn)行配置,以滿足您的測(cè)量需求。
● 它還能在高電壓偏置(高達(dá)3000 V)時(shí)執(zhí)行全自動(dòng)電容測(cè)量,例如 Ciss、Coss 和 Crss,也能輕松地測(cè)試高頻開(kāi)關(guān)轉(zhuǎn)換器的另一個(gè)重要參數(shù)——柵極電荷。還支持在 -50℃ 至 +250℃ 溫度范圍內(nèi)進(jìn)行自動(dòng)熱表征。
● B1505A 軟件環(huán)境以 Microsoft® Windows® 7 操作系統(tǒng)為基礎(chǔ),包括曲線追蹤儀,支持用戶檢測(cè)器件特征和探測(cè)器件故障。如同使用曲線追蹤儀一樣,B1505A 提供旋鈕控制可變掃描功能,可對(duì)參數(shù)(例如擊穿電壓)進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量。B1505A 還提供“示波器查看功能”,可直觀地幫助操作人員優(yōu)化應(yīng)用于器件的電壓和電流。測(cè)量設(shè)置信息和數(shù)據(jù)可自動(dòng)存儲(chǔ)到 B1505A 的內(nèi)置硬盤,并復(fù)制到USB閃存和其他便攜存儲(chǔ)器件。將器件測(cè)量結(jié)果匯總之后,測(cè)量數(shù)據(jù)可輕松復(fù)制到工程報(bào)告中。
● 強(qiáng)大的測(cè)試夾具解決方案對(duì)于確保操作人員安全(由于生成的高電壓和強(qiáng)電流)和支持各種功率器件封裝類型極為重要。以前的傳統(tǒng)曲線追蹤儀受功率器件大小的限制,無(wú)法對(duì)某些功率器件進(jìn)行測(cè)試,而且有時(shí)為了測(cè)試某一器件必須臨時(shí)裝配適配器。然而不論器件的大小或形狀如何,B1505A 的測(cè)試夾具可連接各種器件,例如功率 MOSFET、二極管和 IGBT 等。這可以通過(guò)大型測(cè)試夾具適配器和定制的測(cè)試夾具模塊來(lái)實(shí)現(xiàn)。此外,測(cè)試夾具的內(nèi)置互鎖機(jī)制可確保在測(cè)試器件過(guò)程中安全地應(yīng)用高電壓和強(qiáng)電流。
模塊選型指南
高功率 SMU(HPSMU)
● 所需模塊/擴(kuò)展器:B1510A HPSMU
● 所需插槽數(shù):2
● 配置:4
● 主要技術(shù)指標(biāo):高達(dá) 200 V、1 A,10 fA 電流分辨率
中等功率 SMU(MPSMU)
● 所需模塊/擴(kuò)展器:B1511B MPSMU
● 所需插槽數(shù):1
● 配置:10
● 主要技術(shù)指標(biāo):高達(dá) 100 V、100 mA,10 fA 電流分辨率
強(qiáng)電流 SMU(HCSMU)
● 所需模塊/擴(kuò)展器:B1512A HCSMU
● 所需插槽數(shù):2
● 配置:2
● 主要技術(shù)指標(biāo):20 A/20 V(脈沖);1 A/40 V(直流)*1
高電壓 SMU(HVSMU)
● 所需模塊/擴(kuò)展器:B1513C HVSMU
● 所需插槽數(shù):2
● 配置:5
● 主要技術(shù)指標(biāo):1500 V/8 mA;3000 V/4 mA(脈沖和直流)
中等電流 SMU(MCSMU)
● 所需模塊/擴(kuò)展器:B1514A MCSMU
● 所需插槽數(shù):1
● 配置:6
● 主要技術(shù)指標(biāo):1 A/30 V(脈沖);100 mA/30 V(直流)
多頻電容測(cè)量單元(MFCMU)
● 所需模塊/擴(kuò)展器:B1520A MFCMU
● 所需插槽數(shù):1
● 配置:1
● 主要技術(shù)指標(biāo):1 kHz 至 5 MHz;0 至 ±25 V,使用 MFCMU 內(nèi)部直流偏置、0 至 ±3000 V,使用 HVSMU和高電壓偏置 T 型接頭
高電壓中等電流單元(HVMCU)
● 所需模塊/擴(kuò)展器:M1266A HVSMU 電流擴(kuò)展器、B1513B HVSMU 和兩個(gè) B1514A MCSMU/B1512A HCSMU
● 所需插槽數(shù):4 - 6
● 配置:1
● 主要技術(shù)指標(biāo):±1500 V / 2.5 A(脈沖),±2200 V/ 1.1 A(脈沖)
電流單元(UHCU)
● 所需模塊/擴(kuò)展器:N1265A 電流擴(kuò)展器/夾具和兩個(gè) B1514A MCSMU/B1512A HCSMU
● 所需插槽數(shù):2 - 4
● 配置:1
● 主要技術(shù)指標(biāo):1500 A/ 60 V(脈沖),22.5 kW 峰值功率、±500 A / 60 V(脈沖),7.5 kW 峰值功率
超高電壓?jiǎn)卧║HVU)
● 所需模塊/擴(kuò)展器:N1268A 超高電壓擴(kuò)展器和兩個(gè) B1514A MCSMU 或 B1512A HCSMU 和 B1514A MCSMU 組合
● 所需插槽數(shù):2 - 3
● 配置:1
● 主要技術(shù)指標(biāo):10 kV/10 mA(直流),10 kV/ 20 mA(脈沖)