主要特性與技術(shù)指標
廣泛的工作條件與精密測量功能相結(jié)合
· 適合功率器件表征的綜合解決方案,高達 1500 A 和 10 kV
· 中等電流測量和高電壓偏置(例如,500 mA,1200 V)
· μΩ 導通電阻測量功能
· 高電壓偏置時,可進行精確的 sub-pA 電平電流測量
· 在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 溫度范圍內(nèi)進行全自動熱測試
廣泛的器件測量功能
· 可在高達 3000 V 直流偏置時執(zhí)行全自動電容測量(Ciss、Coss、Crss 等)
· 10 μs 高功率脈沖測量
· 封裝器件和晶圓上 IGBT/FET 柵極電荷測量
· 高電壓/強電流快速切換選件,適用于 GaN 電流崩塌效應表征
· 多達 5 個高電壓(3 kV)電源/測量通道,提供的靈活性
· 通過互鎖測試夾具執(zhí)行安全的與溫度相關(guān)的測試
改進的測量效率
· 在高電壓和強電流測量之間自動切換,無需重新布線
· 自動測試電路形成,可用于封裝器件和晶圓上器件的晶體管結(jié)電容(Ciss、Coss、Crss、Cgs、Cgd、Cds 等)測量
· 具有互鎖機制的標準測試夾具,可進行封裝功率器件測試
· 支持高達 200 A 和 10 kV 的高功率晶圓上測試
· 示波器視圖支持對應用電壓和電流波形的驗證
· MS Windows EasyEXPERT 軟件簡化了數(shù)據(jù)管理和分析流程
可升級和可擴展的硬件體系結(jié)構(gòu)
· 廣泛的測量模塊選擇
· 支持具有高達 6 個連接引腳的高功率器件
描述
Keysight B1505A 功率器件分析儀/曲線追蹤儀是能夠?qū)?sub-pA 電平至 10 kV 和 1500 A 的高功率器件進行表征的綜合解決方案。這些功能能夠?qū)Φ钠骷ɡ?IGBT)和材料(例如 GaN 和 SiC)進行測量。B1505A 支持各種模塊:高電壓 SMU(HVSMU)、強電流 SMU(HCSMU)、電流(UHC)模塊、超高電壓(UHV)模塊和高電壓中等電流(HVMC)模塊。B1505A 還支持:高功率 SMU(1 A/200 V)、中等功率 SMU(100 mA/100 V)、中等電流 SMU(1 A/30V 脈沖,100 mA/30V 直流)和多頻電容測量單元(1 kHz – 5 MHz)。B1505A 的 10 插槽模塊化主機支持您對其進行配置,以滿足您的測量需求。
它還可以在高電壓偏置(高達 3000 V)時執(zhí)行全自動電容測量,例如 Ciss、Coss 和 Crss,也可以輕松地測試高頻開關(guān)轉(zhuǎn)換器的另一個重要參數(shù)——柵極電荷。還支持在 -50 ℃ 至 +250 ℃ 溫度范圍內(nèi)進行自動熱表征。
B1505A 軟件環(huán)境以 Microsoft® Windows® 7 操作系統(tǒng)為基礎,包括曲線追蹤儀,支持用戶檢測器件特征和探測器件故障。如同使用曲線追蹤儀一樣,B1505A 提供旋鈕控制可變掃描功能,可對參數(shù)(例如擊穿電壓)進行實時測量。B1505A 還提供“示波器查看功能”,可直觀地幫助操作人員優(yōu)化應用于器件的電壓和電流。測量設置信息和數(shù)據(jù)可自動存儲到 B1505A 的內(nèi)置硬盤,并復制到 USB 閃存和其他便攜存儲器件。將器件測量結(jié)果匯總之后,測量數(shù)據(jù)可輕松復制到工程報告中。
強大的測試夾具解決方案對于確保操作人員安全(由于生成的高電壓和強電流)和支持各種功率器件封裝類型極為重要。以前的傳統(tǒng)曲線追蹤儀受功率器件大小的限制,無法對某些功率器件進行測試,而且有時為了測試某一器件必須臨時裝配適配器。然而不論器件的大小或形狀如何,B1505A 的測試夾具可連接各種器件,例如功率 MOSFET、二極管和 IGBT 等。這可以通過大型測試夾具適配器和定制的測試夾具模塊來實現(xiàn)。此外,測試夾具的內(nèi)置互鎖機制可確保在測試器件過程中安全地應用高電壓和強電流。
是德可提供一個轉(zhuǎn)換套件,使現(xiàn)有的 B1500A 用戶將其 B1500A 主機轉(zhuǎn)換為 B1505A 主機。這使當前的 B1500A 用戶能夠以較低的成本擴展現(xiàn)有儀器的電壓和電流測量功能。模塊選型指南
測量資源 | 所需模塊/擴展器 | 所需插槽數(shù) | 配置 | 主要技術(shù)指標 |
高功率 SMU(HPSMU) | B1510A HPSMU | 2 | 4 | 高達 200 V、1 A,10 fA 電流分辨率 |
中等功率 SMU(MPSMU) | B1511B MPSMU | 1 | 10 | 高達 100 V、100 mA,10 fA 電流分辨率 |
強電流 SMU(HCSMU) | B1512A HCSMU | 2 | 2 | 20 A/20 V(脈沖);1 A/40 V(直流)*1 |
高電壓 SMU(HVSMU) | B1513C HVSMU | 2 | 5 | 1500 V/8 mA;3000 V/4 mA(脈沖和直流) |
中等電流 SMU(MCSMU) | B1514A MCSMU | 1 | 6 | 1 A/30 V(脈沖);100 mA/30 V(直流) |
多頻電容測量單元(MFCMU) | B1520A MFCMU | 1 | 1 | 1 kHz 至 5 MHz;0 至 ±25 V,使用 MFCMU 內(nèi)部直流偏置 |
高電壓中等電流單元(HVMCU) | M1266A HVSMU 電流擴展器、 | 4 - 6 | 1 | ±1500 V / 2.5 A(脈沖),±2200 V/ 1.1 A(脈沖) |
電流單元(UHCU) | N1265A 電流擴展器/夾具 | 2 - 4 | 1 | 1500 A/ 60 V(脈沖),22.5 kW 峰值功率、 |
超高電壓單元(UHVU) | N1268A 超高電壓擴展器 | 2 - 3 | 1 | 10 kV/10 mA(直流),10 kV/ 20 mA(脈沖) |
*1. 使用兩個 HCSMU 和雙 HCSMU 組合適配器,當前的范圍可擴展至 40 A/20 V(脈沖)和 2 A/40 V(直流)。