● 高低溫探針臺(tái)在高溫及低溫電學(xué)性能測(cè)量
● 真空腔
● 設(shè)計(jì)合理
● 真空度穩(wěn)定
● 溫控精度及機(jī)械精度高等
● 樣品臺(tái):鍍金樣品臺(tái)
● 樣品臺(tái)尺寸:2英寸/4英寸/6英寸
● 單筒顯微鏡:放大倍數(shù) 50 倍
● 視頻成像配置: CCD成像系統(tǒng),放大倍數(shù) 300 倍
● 探針臂:x/y/z 行程 40mm,精度 1μm
● 探針配置:DC/射頻探針
● 真空系統(tǒng):機(jī)械泵或分子泵
● 真空度:10-3 Torr - 10-6 Torr
● 觀察窗口:100mm
● 溫度范圍:液氮制冷 77K - 570K,液氦制冷 10K - 570K,溫度可到 1000K
● 溫控精度:0.1K / 0.01K / 0.001K
● 制冷方式:液氮、液氦或制冷機(jī)系統(tǒng)