測(cè)量功能
● 在 0.1 fA - 1 A / 0.5 µV - 200 V 范圍內(nèi)執(zhí)行精確的電流-電壓（IV）測(cè)量，支持點(diǎn)測(cè)量、掃描測(cè)量、采樣和脈沖測(cè)量
● 在1 kHz 至 5 MHz 頻率范圍內(nèi)執(zhí)行交流電容測(cè)量，支持準(zhǔn)靜態(tài)電容-電壓（QS-CV）測(cè)量
● 的脈沖 IV 測(cè)量和超快 IV 測(cè)量，采樣間隔為 5 ns（200 MSa/s）
● 高達(dá) 40 V 的高壓脈勢(shì)，適用于非易失存儲(chǔ)器測(cè)試
EasyEXPERT group+ 軟件
● EasyEXPERT group+ 表征環(huán)境可在配有 15 英寸觸摸屏的分析儀主機(jī)（嵌入式Windows 7）或用戶PC上運(yùn)行
● 多種測(cè)量模式，實(shí)現(xiàn)快速設(shè)置和測(cè)量執(zhí)行（應(yīng)用測(cè)試、典型測(cè)試、追蹤儀測(cè)試、快速測(cè)試和示波器顯示）
● 圖形顯示和自動(dòng)分析功能，能夠生成數(shù)據(jù)并導(dǎo)入Excel和圖像以便分析和報(bào)告
● EasyEXPERT group+ 軟件可根據(jù)需要安裝在多臺(tái)PC上，且不會(huì)收取額外的費(fèi)用，因而您所在部門的用戶都能充分利用離線個(gè)人分析儀環(huán)境進(jìn)行測(cè)試
主機(jī)功能特性
● 可配置和可升級(jí)的測(cè)量模塊，多達(dá) 10 插槽
● 15 英寸觸摸屏支持直觀的 EasyEXPERT group+ 圖形用戶界面（GUI）操作方式
● 嵌入式Windows 7標(biāo)準(zhǔn)版操作系統(tǒng)（WES7）
● GPIB、USB、LAN 接口和 VGA 視頻輸出端口
● Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀是德科技精密電流－電壓分析儀系列，是一款能夠提供 IV、CV、脈沖/動(dòng)態(tài) IV 等豐富功能的綜合分析儀，旨在滿足從基礎(chǔ)到應(yīng)用的表征需求。B1500A 提供豐富的測(cè)量功能，支持器件、材料、半導(dǎo)體、有源/無(wú)源器件，甚至幾乎所有其他類型電子器件的電氣表征和測(cè)試，且具有的測(cè)量可靠性和測(cè)量效率。此外，B1500A 的模塊化體系結(jié)構(gòu)和 10 個(gè)空閑插槽允許您添加或升級(jí)測(cè)量模塊，以適應(yīng)不斷變化的測(cè)量需求。
● 基于 Keysight EasyEXPERT group+ 圖形用戶界面的表征軟件可在 B1500A（配有15英寸觸摸屏）的嵌入式 Windows 7平臺(tái)或PC上運(yùn)行，能幫助加快表征任務(wù)速度。軟件支持交互式手動(dòng)操作或結(jié)合半自動(dòng)晶圓探頭的自動(dòng)操作，能夠在從測(cè)量設(shè)置和執(zhí)行到結(jié)果分析和數(shù)據(jù)管理的整個(gè)表征過(guò)程中實(shí)現(xiàn)高效和可重復(fù)的器件表征。EasyEXPERT group+ 配備數(shù)百種易于使用的測(cè)量（應(yīng)用測(cè)試）功能，允許您快速而輕松執(zhí)行復(fù)雜器件表征，并可以選擇在每次測(cè)量結(jié)束后將測(cè)試條件和測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存到的內(nèi)置數(shù)據(jù)庫(kù)（工作區(qū)）中，以確保不會(huì)遺失重要的信息和在日后能夠重復(fù)執(zhí)行該測(cè)量。憑借這些全面的測(cè)量功能，Keysight B1500A 提供了一款綜合的器件表征解決方案。
即用型應(yīng)用程序庫(kù)
● 器件類型：應(yīng)用測(cè)試
● CMOS：晶體管Id-Vg、Id-Vd、Vth、擊穿、電容、QSCV 等
● 雙極晶體管：Ic-Vc、二極管、Gummel 曲線圖、擊穿、三極管、電容等
● 分立器件：Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc、二極管等
● 存儲(chǔ)器：Vth、電容、耐久測(cè)試等
● 功率器件：脈沖 Id-Vg、脈沖 Id-Vd、擊穿等
● 納米器件：電阻、Id-Vg、Id-Vd、Ic-Vc 等
● 可靠性測(cè)試：NBTI / PBTI、電荷泵、電遷移、熱載子注入、恒增電流（J-Ramp）、TDDB 等
| 測(cè)試范圍 | 支持模塊 | 主要技術(shù)指標(biāo) | 主要特性 |
| 直流和脈沖 IV 測(cè)量 | B1510A 大功率源表模塊（HPSMU） | –高達(dá) 200 V/1 A –最小分辨率 10 fA/2 μV | –最小 100 μs 采樣（時(shí)域）測(cè)量 –最小脈寬 500 μs，100 μs 分辨率 –準(zhǔn)靜態(tài)電容電壓（QSCV）測(cè)量，具有泄漏電流補(bǔ)償 –4 象限工作 –Kelvin（4 線）連接 –點(diǎn)測(cè)量、掃描測(cè)量和其他功能 |
| B1511B 中等功率源表模塊（MPSMU） | –高達(dá) 100 V/0.1 A –最小分辨率 10 fA/0.5 μV –ASU 選件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切換 | ||
| B1517A 高分辨率源表模塊（HRSMU） | –高達(dá) 100 V/0.1 A –最小分辨率 1 fA/0.5 μV –ASU 選件用于 0.1 fA 和 IV/CV 切換 | ||
| B1514A 50 μs 脈沖中等電流源表模塊（MCSMU） | –高達(dá) 30 V/1 A（0.1 A 直流） | –最小脈寬 50 μs，2 μs 分辨率 –示波器視圖支持精確的脈沖測(cè)量 | |
| 電容測(cè)量 | B1520A 多頻率電容測(cè)量單元（MFCMU） | –頻率范圍為 1 kHz 至 5 MHz – SMU 和 SCUU 提供 25 V 內(nèi)置直流偏置和 100 V 直流偏置 | –交流阻抗測(cè)量（C-V、C-f、C-t） –使用自動(dòng)切換通過(guò) SCUU 輕松、快速、精確地進(jìn)行 IV 和 CV 測(cè)量 |
| 超快速脈沖和瞬態(tài) IV 測(cè)量 | B1530A 波形發(fā)生器/快速測(cè)量單元（WGFMU） | –用于波形生成的 10 ns 可編程分辨率 –200 MSa/s 同時(shí)高速測(cè)量 –10 V 峰峰值輸出 | –無(wú)負(fù)載線效應(yīng)；使用 SMU 技術(shù)進(jìn)行精確的脈沖 IV 測(cè)量 –支持 NBTI/PBTI、RTN 等應(yīng)用 |
| 脈沖生成 | B1525A 高電壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元（HV-SPGU） | –高達(dá) ±40 V 高電壓輸出 | –能夠在每個(gè)通道上生成二電平和三電平脈沖和任意波形 –適用于非易失性存儲(chǔ)器測(cè)試 |
| 超快速脈沖高 k/SOI 測(cè)試 | B1542A 10 ns 脈沖 IV 參數(shù)測(cè)試解決方案 | –最小選通脈寬 10 ns，上升和下降時(shí)間為 2 ns –1 μs 電流測(cè)量分辨率 | –精確的 Id-Vd 和 Id-Vg 測(cè)量 –在直流測(cè)量和脈沖測(cè)量之間輕松切換 |
