● 的 EMI / RFI / 光密屏蔽設計
● FemtoAmp 低泄漏能力
● 溫度范圍 -60°C 至 300°C
● 支援飛安級低漏電量量測
● ERS 的 AC3 冷卻技術
● 具有高度可重復性(1µm)的壓板提升設計,具有用于安全,接觸,分離(300µm)和加載(3mm)的三個離散位置
Chuck XY行程
● 樣品測試尺寸:8 英寸 - 12 英寸
● 行程范圍:225 × 260 mm (8.9 × 10.2 in)
● 精密行程范圍:25 × 25 mm
● 精細行程分辨率:< 1.0 μm (0.04 mils) @ 500 μm/rev
● 表面平坦度:≤ ±5 μm
● 盤旋轉:360°
● 卡盤旋轉:± 5.0°
Chuck Z行程
● 行程范圍:5 mm (0.2 in)
● 行程精度:< 1.0 μm (0.04 mils) @ 500 μm/rev
● 氣浮行程:20 mm, pneumatically
手動顯微鏡
● 移動范圍:50 × 50 mm (2 × 2 in)
● 分辨率:< 5μm (0.2 mils)