OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動(dòng)的PECVD系統(tǒng),并且連接有循環(huán)手套箱。此款設(shè)備中石英爐管與一循環(huán)手套箱相連接,允許客戶用CVD方法把樣品制作好以后,直接把樣品移入到氣氛保護(hù)環(huán)境下的手套箱中。爐體采用滑動(dòng)式,可在室驗(yàn)中對(duì)樣品進(jìn)行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
技術(shù)參數(shù) | ||
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爐體結(jié)構(gòu)(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料) | ● 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上面,和通過對(duì)爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果 ● 連續(xù)工作溫度:1100℃ ● 兩個(gè)爐體都可以設(shè)置30段升降溫程序 | |
等離子體射頻電源 | ● 輸出頻率: 13.56 MHz ±0.005% ● 射頻功率: 500W ● 匹配: 自動(dòng)匹配 ● 噪音: <50 dB. ● 冷卻: 空氣冷卻 ● 輸入電源: 208-240VAC, 單相, 50/60Hz | |
真空系統(tǒng) | ● 采用VRD-16的雙旋真空泵, 極限真空10E-3 Torr ● KFD25快接,不銹鋼波紋管,手動(dòng)擋板閥與法蘭,真空泵相連 ● 管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr | |
質(zhì)量流量計(jì)混氣系統(tǒng) | ● 四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)(精度1.5% ) :數(shù)字顯示,自動(dòng)控制 ● MFC1范圍: 0~100 sccm ● MFC2和3: 0~200 sccm ● MFC4范圍: 0~500 sccm ● 一個(gè)混氣罐,底部裝有泄廢液口 ● 4 個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè),可手動(dòng)控制4種氣體 ● 進(jìn)氣口: 4個(gè)1/4NPS ● 出氣口: 4個(gè) 1/4NPS. ● 采用PLC控制流量計(jì),通過觸摸屏進(jìn)行控制 ● 可選購氣液混合裝置,用于CVD系統(tǒng) | |
爐管&密封法蘭 | ● 高純石英管,尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L ● 配有一套不銹鋼密封法蘭,并且上面安裝有真空計(jì) | |
防腐型真空計(jì) | ● 輸入電源 24V,1A DC(配有一電壓轉(zhuǎn)換器) ● 測(cè)量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr. ● 數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr ● 接頭 KF16 接頭 ● 產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | |
循環(huán)手套箱 | ● 手套箱尺寸:780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H) ● 帶有除水系統(tǒng):保持水含量< 2 ppm ● 一真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管相連接 | |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包含爐管,加熱元件和密封圈) | |
質(zhì)量認(rèn)證 | ● CE 認(rèn)證 ● 所有電器元件(>24V)都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證 |