設(shè)備名稱 | 雙爐體滑動(dòng)PECVD系統(tǒng)&循環(huán)手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 (2019.12.18—科晶實(shí)驗(yàn)室審核) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接; ? 兩個(gè)爐體在一個(gè)滑軌上,可通過爐體的滑動(dòng)達(dá)到對(duì)樣品快速加熱和快速冷卻的效果。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
加熱爐參數(shù) | ? 連續(xù)工作溫度:1100℃ ? 兩個(gè)爐體都可設(shè)置30段升降溫程序 ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長(zhǎng)爐膛使用壽命) ? 電源:AC220,50Hz 功率:3KW
更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
手套箱參數(shù) | ? 帶有除水系統(tǒng):保持水含量< 2=""> ? 真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統(tǒng)的石英管連接 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。
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真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵; ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵; ? 真空度可達(dá)10-2Torr。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%); ? 流量范圍:
? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz; ? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管; ? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出; ? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
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產(chǎn)品尺寸 | ? 爐體尺寸:1600mm(L) ′430mm (W) ′ 500mm(H) ? 手套箱尺寸:780mm(L)′ 700mm(W) ′ 650mm(H)
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認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
承諾 | ? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) |