表面分析是對固體表面或界面上只有幾個原子層厚的薄層進行組分、結構和能態(tài)等分析的材料物理試驗。也是一種利用分析手段,揭示材料及其制品的表面形貌、成分、結構或狀態(tài)的技術。中文名表面分析外文名surfaceanalysis分析內容表面化學組成、表面原子態(tài)等方法離子探針、AES、XPS等特點分析靈敏度高(原子層次)應用材料性能研究1表面分析概況自20世紀60年代中期金屬型超高真空系統(tǒng)和率微弱信號電子檢測系統(tǒng)的發(fā)展,導致70年代初現(xiàn)代表面分析儀器商品化以來,至今已產生了約50種表面分析技術。表面分析技術發(fā)展的動力來
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