壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)SR-5018是采用壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)的壓電旋轉(zhuǎn)位移臺(tái),采用壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)360度無限旋轉(zhuǎn)。
壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)SR-5018集成光學(xué)編碼器確保閉環(huán)定位分辨率（低于1μrad）和重復(fù)精度（高達(dá)5μrad）。
我們?yōu)橛脩籼峁追N標(biāo)準(zhǔn)壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)都可以根據(jù)用戶需求定制.
壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)規(guī)格參數(shù)
壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)應(yīng)用案例
壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)搭建的3D晶圓定位系統(tǒng)（4英寸晶圓）
壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)SR-5018集成光學(xué)編碼器確保閉環(huán)定位分辨率（低于1μrad）和重復(fù)精度（高達(dá)5μrad）。
我們?yōu)橛脩籼峁追N標(biāo)準(zhǔn)壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉(zhuǎn)定位臺(tái)都可以根據(jù)用戶需求定制.
壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)規(guī)格參數(shù)
| 型號(hào) | SR-5018 | SR-5714 | SR-5714C |
| 口徑 | 8mm | 25mm | 25mm |
| S閉環(huán)傳感器分辨率 | 15μ° | 15 μ° | 15 μ° |
| 角度分辨率 | < 1 μ° | < 0.5 μ° | < 0.5 μ° |
| 掃描范圍 | > 3.8 m° | > 2.3 m° | > 2.3 m° |
| 行程范圍 | ∞ | ∞ | ∞ |
| 定位臺(tái)尺寸 | 50 x 50 x 16.5 mm3 | 45 x 45 x 12.5 mm3 | 57 x 57 x 13.75 mm3 |
| 負(fù)載 | 20N(2Kg) | 25N(2.5Kg) | 25N(2.5Kg) |
| 適合真空度 | 10-6 mbar | 10-6 mbar | 10-11 mbar |
| 角速度 | 15度/秒 | 9度/秒 | 9度/秒 |
| 步進(jìn) | 0.2 – 2.0 m° | 0.2 – 3.0 m° | 0.2 – 2.0 m° |
| 頻率 | 18.5KHZ | 18.5KHZ | 18.5KHZ |
| 阻尼力Mb | 7N cm | 5N cm | 5N cm |
| 正向力Fn | 20N | 25N | 25N |
| 旋轉(zhuǎn)臺(tái)尺寸 | Ø 41 mm | Ø 57 mm | Ø 48 mm |
| 重量 | 100g | 110g | 105g |
| S閉環(huán)分辨率 | 15 μ° MSC/SDC | - | - |
| L閉環(huán)傳感器分辨率 | 60 μ° | - | - |
| L閉環(huán)分辨率 | 60 μ° MSC/SDC 1 m° (H)CU | - | - |
壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)搭建的3D晶圓定位系統(tǒng)（4英寸晶圓）
