側(cè)驅(qū)線性平移臺(tái)特點(diǎn)
移動(dòng)范圍10mm
高精度超低剖面線性位移臺(tái)設(shè)計(jì)
測(cè)微螺桿精密驅(qū)動(dòng)
精密球軸承
可直接搭建成單側(cè)控制的XY二維平移臺(tái)系統(tǒng)
可搭建成三維XYZ平移臺(tái)系統(tǒng)
側(cè)驅(qū)線性平移臺(tái)規(guī)格參數(shù)
移動(dòng)范圍 10mm
靈敏度 1μm
跟蹤精度 2μ m
讀數(shù)精度 5μm(½分)
負(fù)載能力:
水平 6kg
垂直 3kg
重量: 0.15kg