微型真空平移臺是不銹鋼材質(zhì)的真空微型平移臺和真空微型定位臺,具有超薄設計和較高穩(wěn)定性,可平移6mm,讀取精度10µm.
微型真空平移臺采用低剖面設計提高了穩(wěn)定性和精度,盒式設計和彈簧預加載提高了平移臺剛性降低了柔性,使用不銹鋼制造增加了穩(wěn)定性。
微型真空平移臺方便快速安裝到其它光學機械上或者搭建成XY平移臺或XYZ平移臺系統(tǒng),也可以倒置使用.
圖1：微型真空平移臺實物圖
微型真空平移臺特點
超級緊湊
固態(tài)盒式設計
可使用的安裝面大
移動范圍是6mm
方便裝配成X-Y二維平移臺
不銹鋼制造,可以用于真空環(huán)境
圖2：微型真空平移臺配備不同驅(qū)動螺釘
圖3：微型真空平移臺安裝應用圖-采用直角安裝板2AB67-6
微型真空平移臺規(guī)格參數(shù)
移動范圍 6mm
靈敏度 1µM
讀數(shù)精度 10µm
角偏差 ＜150µRad
跟蹤精度 2µM
負載能力：
水平 45kg
垂直 3kg
重量 0.1kg
負載裝配
X-Y 直接裝配
Z軸 使用直角安裝板2AB67-6
微型真空平移臺采用低剖面設計提高了穩(wěn)定性和精度,盒式設計和彈簧預加載提高了平移臺剛性降低了柔性,使用不銹鋼制造增加了穩(wěn)定性。
微型真空平移臺方便快速安裝到其它光學機械上或者搭建成XY平移臺或XYZ平移臺系統(tǒng),也可以倒置使用.
圖1：微型真空平移臺實物圖
微型真空平移臺特點
超級緊湊
固態(tài)盒式設計
可使用的安裝面大
移動范圍是6mm
方便裝配成X-Y二維平移臺
不銹鋼制造,可以用于真空環(huán)境
圖2：微型真空平移臺配備不同驅(qū)動螺釘
圖3：微型真空平移臺安裝應用圖-采用直角安裝板2AB67-6
微型真空平移臺規(guī)格參數(shù)
移動范圍 6mm
靈敏度 1µM
讀數(shù)精度 10µm
角偏差 ＜150µRad
跟蹤精度 2µM
負載能力：
水平 45kg
垂直 3kg
重量 0.1kg
負載裝配
X-Y 直接裝配
Z軸 使用直角安裝板2AB67-6
