大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺是采用壓電旋轉(zhuǎn)臺技術(shù)的壓電旋轉(zhuǎn)位移臺,采用壓電電機(jī)驅(qū)動可實(shí)現(xiàn)360度無限旋轉(zhuǎn)。
大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺SR-7012集成光學(xué)編碼器確保閉環(huán)定位分辨率（低于1μrad）和重復(fù)精度（高達(dá)5μrad）。
我們?yōu)橛脩籼峁追N標(biāo)準(zhǔn)壓電旋轉(zhuǎn)定位臺方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉(zhuǎn)定位臺都可以根據(jù)用戶需求定制.
大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺規(guī)格參數(shù)
大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺應(yīng)用案例
大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺搭建的3D晶圓定位系統(tǒng)（4英寸晶圓）
大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺SR-7012集成光學(xué)編碼器確保閉環(huán)定位分辨率（低于1μrad）和重復(fù)精度（高達(dá)5μrad）。
我們?yōu)橛脩籼峁追N標(biāo)準(zhǔn)壓電旋轉(zhuǎn)定位臺方便用戶選擇,例如非磁性材料和超高真空（UHV）兼容性等,此外所有壓電旋轉(zhuǎn)定位臺都可以根據(jù)用戶需求定制.
大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺規(guī)格參數(shù)
| 型號 | SR-7012 | SR-7021 | SR-12012 |
| 口徑 | Ø 30 mm | Ø 25 mm | Ø 82 mm |
| S閉環(huán)傳感器分辨率 | 15μ° | 15 μ° | 5 μ° |
| 角度分辨率 | < 0.5 μ° | < 0.5 μ° | < 1 μ° |
| 掃描范圍 | >2.5 m° | > 3.1 m° | > 4 m° |
| 行程范圍 | ∞ | ∞ | ∞ |
| 定位臺尺寸 | 70 x 70 x 12 mm3 | 90 x 90 x 21 mm3 | 120 x 120 x 12 mm3 |
| 負(fù)載 | 25N(2.5Kg) | 25N(2.5Kg) | 20N(2Kg) |
| 適合真空度 | 10-11 mbar | 10-11mbar | 10-6mbar |
| 角速度 | 9度/秒 | 9度/秒 | 10度/秒 |
| 步進(jìn) | 0.2 – 2.0 m° | 0.2 – 2.0 m° | 0.3 – 1.5 m° |
| 頻率 | 18.5KHZ | 18.5KHZ | 18.5KHZ |
| 阻尼力Mb | 10N cm | 10N cm | 15N cm |
| 正向力Fn | 25N | 25N | 20N |
| 旋轉(zhuǎn)臺尺寸 | Ø 60 mm | Ø 70 mm | Ø 110 mm |
| 重量 | 100g | 400g | 320g |
大孔徑壓電旋轉(zhuǎn)臺搭建的3D晶圓定位系統(tǒng)（4英寸晶圓）
