六軸并聯(lián)定位平臺70.42采用德國六自由度并聯(lián)機器人hexapod提供六軸并聯(lián)動力學(xué)機器人式定位,提供六自由度操縱能力,具有更緊湊結(jié)構(gòu),更高剛性,更低的運動質(zhì)量和更高的響應(yīng)速度。
六軸并聯(lián)定位平臺70.42采用模塊化設(shè)計,其尺寸和強度可以適應(yīng)不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。
六軸并聯(lián)定位平臺70.42規(guī)格參數(shù)
分辨率<1nm
負(fù)載：500g (5N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根據(jù)用戶要求）
垂直載荷Fv:5N
負(fù)載：500g (5N)
真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根據(jù)用戶要求）
垂直載荷Fv:5N
水平力Fh:2.5N
定位器尺寸:Ø 70 x 42 mm^3
重量:約300克
x- 10 mm
y -10 mm
z -5 mm
Θx：14 °
Θy：16 °
Θz：28 °
材料和真空可選項目Θx：14 °
Θy：16 °
Θz：28 °
帶納米傳感器-S閉環(huán)
最小增量（x，y，z）：1nm
最小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad
重復(fù)精度(xyz全行程）：±200 nm
重復(fù)精度(Θxyz全行程）：±10urad
重復(fù)精度（1mm行程@xyz)：±15 nm
納米級距離編碼傳感器
非磁性材料（NM）-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
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