XYZ真空位移臺(tái)配置
公制7T38V XYZ真空位移臺(tái)配置:7T38V-3件, 2AB38V-1 件, 3P38V, 3CP38V, 3BP38V.
英制7T38EV XYZ真空位移臺(tái)臺(tái)配置:7T38EV-3 件, 2AB38V-1件, 3P38EV, 3CP38V, 3BP38V.
XYZ真空位移臺(tái)規(guī)格
移動(dòng)范圍 15mm
靈敏度 1µM
跟蹤精度 2µM
刻度步進(jìn) 10µm
負(fù)載能力 5kg
重量 1.35kg