設(shè)備名稱 | 滑動(dòng)式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)——OTF-1200X-II-4CV-PE-SL (2019.12.23—科晶實(shí)驗(yàn)室審核) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong> 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度; ? 滑軌式可快速加熱和快速冷卻; ? 兩個(gè)加熱區(qū),溫度梯度可達(dá) 200oC; ? 可在溫度范圍較大的條件下制備材料,如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
加熱爐參數(shù) | ? 溫度:1200oC(<> ? 兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng); ? 輸入功率:208-240V,單相,功率:2.5KW; ? 高純氧化鋁纖維保溫層可以限度降低能耗; ? 爐體開啟式設(shè)計(jì),以達(dá)到對(duì)樣品快速降溫,方便更換爐管。
多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷售部 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
射頻電源 | ? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。
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真空系統(tǒng) | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵; ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵; ? 真空度可達(dá)10-2Torr。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
供氣系統(tǒng) | ? 四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%); ? 流量范圍:
? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz; ? 氣體進(jìn)出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管; ? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出; ? PLC觸摸屏可以簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。
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產(chǎn)品尺寸和重量 | ? 設(shè)備總體尺寸:2200mm L′800mm W′1500mm H ? 凈重:110kg ? 運(yùn)輸重量:230kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||
認(rèn)證 | ? CE認(rèn)證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認(rèn)證 ? 如您另外付費(fèi),我們可以保證單臺(tái)儀器的TUV(UL61010)或CSA 認(rèn)證 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
國家 | ? 名稱:可組合式等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置 ? 編號(hào):ZL-2011-2-0355777.1 ? 尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
承諾 | ? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) ? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |