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  • 12英寸大面積專用離子減薄儀(MU700)

12英寸大面積專用離子減薄儀(MU700)

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2022-06-02
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量99
  • 人氣值874
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關(guān)鍵詞:RIE、RIBE、反應(yīng)離子束刻蝕、CAIEB、化學(xué)輔助離子束刻蝕、過渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT型號:MU700S;產(chǎn)地:歐洲
12英寸大面積專用離子減薄儀(MU700) 產(chǎn)品詳情

關(guān)鍵詞:RIE、RIBE、反應(yīng)離子束刻蝕、CAIEB、化學(xué)輔助離子束刻蝕、

                過渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT

 

型號:MU700S;    產(chǎn)地:歐洲;  

應(yīng)用:過渡金屬, PZT, 磁性材料(MRAM, GMR, TMR), Pt, Cu, TeGe ;

 

代表性用戶:法國科學(xué)研究中心(CNRS)、意法半導(dǎo)體(ST)

 

RFICP源:束徑可達 220 mm

 

采用分子泵或低溫泵+干泵組合真空系統(tǒng)

 

均勻性:+/- 5%  on 290 mm襯底

 

水冷樣品臺,襯底尺寸可達直徑300mm

 

樣品臺可以傾斜和旋轉(zhuǎn)

 

配套SIMS用于刻蝕監(jiān)控

 

配置Load Lock

 

控制系統(tǒng):全自動控制,半自動和手動模式可用
              支持多級用戶權(quán)限設(shè)置和管理
              支持設(shè)備遠程操作、監(jiān)控、診斷和維護
              系統(tǒng)自動報警及定位故障

 

關(guān)鍵詞:控制系統(tǒng)
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