PIPS II 精密離子減薄儀
設(shè)備簡介:
一代PIPS™離子減薄系統(tǒng)樹立了透射電鏡(TEM)制樣的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)已超20年,而全新一代PIPS II 精密離子減薄儀基于一代PIPS 有了根本性的升級。
PIPS II 精密離子減薄儀包含了 WhisperLok®,能對減薄樣品進(jìn)行準(zhǔn)確定位。10英寸觸摸屏簡單易用,提高對減薄區(qū)域的精度控制和減薄過程的可重復(fù)性。
配備的數(shù)碼變焦顯微鏡系統(tǒng)可以實時監(jiān)測減薄過程,同時可將獲取的彩圖存儲于DM軟件中,用于與樣品在TEM中成像對比。
性能優(yōu)點:
- WhisperLok系統(tǒng)及X-Y可調(diào)樣品臺:可對樣品感興趣區(qū)域進(jìn)行對中重復(fù)減薄
- 低能量聚焦離子槍:改進(jìn)的低能量范圍的性能可用于FIB樣品的表面清掃
- 能量從 0.1 keV到 8 keV可調(diào) : 低能范圍的性能提升可以減少非晶層
- 液氮冷臺:去除熱效應(yīng)產(chǎn)生的樣品損傷
- 10英寸彩色觸摸屏控制:簡單易用的控制圖形用戶界面
- 數(shù)碼變焦顯微鏡系統(tǒng):實時監(jiān)測減薄過程
- DM軟件存儲彩圖:可以使用同TEM和EELS數(shù)據(jù)相同的格式儲存光學(xué)顯微圖像
應(yīng)用:
- 半導(dǎo)體
- 金屬(氧化物,合金)
- 陶瓷
技術(shù)規(guī)格:
離子源 | |
離子槍 | 兩個配有低能聚焦能力電極的潘寧離子槍 |
拋光角度(°) | +10 到-10,每支離子槍可獨立調(diào)節(jié) |
離子束能量 (keV) | 0.1 ? 8.0 |
離子束流密度峰值 (mA/cm2) | 10 |
射束校準(zhǔn) | 使用熒光屏的精密光束校準(zhǔn) |
離子束直徑 | 可用氣體流量計或放電電壓來調(diào)節(jié) |
樣品臺 | |
樣品尺寸(mm) | 3 或者 2.3 |
樣品夾持 | |
標(biāo)準(zhǔn) | DuoPost® |
可選 | 石墨臺 |
轉(zhuǎn)速 (rpm) | 1 ? 6 |
離子束調(diào)制 | 角度范圍可調(diào)的單向調(diào)制或雙向調(diào)制 |
X, Y 方向平移 (mm) | ±0.5 |
樣品觀察 | |
Option 1 | 雙目顯微鏡 |
Option 2 | 數(shù)碼變焦顯微鏡及 DM 軟件存儲(選配) |
真空系統(tǒng) | |
干泵系統(tǒng) | 80 L/s 的渦輪分子泵,具備兩級隔膜前級泵 |
壓力 (torr) | |
基本壓力 | 5 x 10-6 |
工作壓力 | 8 x 10-5 |
真空規(guī) | 冷陰極型,用于主樣品室;固體型,用于前級機械泵 |
樣品氣鎖 | WhisperLok,技術(shù),樣品交換時間小于1 分鐘 |
用戶界面 | |
10 英寸彩色觸摸屏 | 操作簡單,且能夠控制所有參數(shù)和配方式操作 |
尺寸及使用要求 | |
外形尺寸 (長 x 寬 x 高, mm) | 547 × 495×615 |
運輸重量 (kg) | 45 |
功耗 (W) | |
運行時 | 200 |
待機時 | 100 |
電源要求 | 通用 100/240 VAC, 50/60 Hz (用戶電壓和頻率) |
氬氣 (psi) | 25 |
訂貨編號:LR-200635