電子束曝光技術是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產(chǎn)生具有不同溶解性能的區(qū)域,根據(jù)不同區(qū)域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強...
查看詳情電子束曝光技術是在計算機控制下,按照加工要求的圖形,利用聚焦后的電子束對基片上的抗蝕劑進行曝光,在抗蝕劑中產(chǎn)生具有不同溶解性能的區(qū)域,根據(jù)不同區(qū)域的溶解特性,利用具有選擇性的顯影劑進行顯影,溶解性強...
查看詳情摘要 上海伯東日本*適合小規(guī)模量產(chǎn)使用和實驗室研究的離子蝕刻機, 一般通氬氣 Ar, 無污染, 內(nèi)部使用美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 40 產(chǎn)生轟擊離子; 終點檢出器采用 Pfeiffer 殘余質(zhì)譜監(jiān)測當前氣體成分, 判斷刻蝕情況.
在線詢價摘要 Leica EM ACE900 冷凍斷裂系統(tǒng)在一臺儀器中對樣品完成冷凍斷裂、冷凍蝕刻和電子束鍍膜。通過旋轉(zhuǎn)冷凍式載臺,利用電子束進行高分辨率碳/金屬復合鍍膜,適用于任何TEM和SEM分析,可提供靈活的投影選擇。
在線詢價摘要 刻蝕設備PlasmaPro1000 Astrea新型的PlasmaPro1000 Astrea刻蝕設備,該設備可以為PSS, GaN 和AlGaInP提供大批量刻蝕提供解決方案,有助于HBLED制造商提高良率和降低使用者成本。
在線詢價摘要PLUTO-WIN是面向科研及企業(yè)研發(fā)客戶使用需求設計的高性價比ICP等離子體系統(tǒng)。作為一個多功能系統(tǒng),它通過優(yōu)化的系統(tǒng)設計與靈活的配置方案,獲得高性能ICP刻蝕工藝。該設備結(jié)構(gòu)緊湊占地面積小,專業(yè)的機械設計與優(yōu)化的自動化操作軟件使該設備操作簡便、安全,且工藝穩(wěn)定重復...
在線詢價摘要PLUTO-WIN是面向科研及企業(yè)研發(fā)客戶使用需求設計的高性價比CCP等離子體系統(tǒng)。作為一個多功能系統(tǒng),它通過優(yōu)化的系統(tǒng)設計與靈活的配置方案,獲得高性能CCP刻蝕工藝。該設備結(jié)構(gòu)緊湊占地面積小,專業(yè)的機械設計與優(yōu)化的自動化操作軟件使該設備操作簡便、安全,且工藝穩(wěn)定重復...
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