產(chǎn)品特性：
• 通過利用常規(guī)過程數(shù)據(jù)和專有技術(shù)重新設(shè)計(jì)了易用性
• 通過在負(fù)載鎖定室中安裝暗盒機(jī)構(gòu)（可選）來提高生產(chǎn)率
• zui大基板傳送尺寸為Φ300mm（在中心Φ200mm處保證了厚度分布）。
• 支持堆疊/同時(shí)濺射多個(gè)陰極
• 通過觸摸屏和配方輸入自動(dòng)處理，節(jié)省了人工
• 可以記錄數(shù)據(jù)
產(chǎn)品應(yīng)用：
• 電極成膜/多層電極及同時(shí)成膜應(yīng)用
• 形成狄登膜，絕緣膜，鈍化膜，保護(hù)膜等
• 用于電子零件和小規(guī)模生產(chǎn)的研發(fā)產(chǎn)品特性：
• 通過利用常規(guī)過程數(shù)據(jù)和專有技術(shù)重新設(shè)計(jì)了易用性
• 通過在負(fù)載鎖定室中安裝暗盒機(jī)構(gòu)（可選）來提高生產(chǎn)率
• zui大基板傳送尺寸為Φ300mm（在中心Φ200mm處保證了厚度分布）。
• 支持堆疊/同時(shí)濺射多個(gè)陰極
• 通過觸摸屏和配方輸入自動(dòng)處理，節(jié)省了人工
• 可以記錄數(shù)據(jù)
產(chǎn)品應(yīng)用：
• 電極成膜/多層電極及同時(shí)成膜應(yīng)用
• 形成狄登膜，絕緣膜，鈍化膜，保護(hù)膜等
• 用于電子零件和小規(guī)模生產(chǎn)的研發(fā)產(chǎn)品特性：
• 通過利用常規(guī)過程數(shù)據(jù)和專有技術(shù)重新設(shè)計(jì)了易用性
• 通過在負(fù)載鎖定室中安裝暗盒機(jī)構(gòu)（可選）來提高生產(chǎn)率
• zui大基板傳送尺寸為Φ300mm（在中心Φ200mm處保證了厚度分布）。
• 支持堆疊/同時(shí)濺射多個(gè)陰極
• 通過觸摸屏和配方輸入自動(dòng)處理，節(jié)省了人工
• 可以記錄數(shù)據(jù)
產(chǎn)品應(yīng)用：
• 電極成膜/多層電極及同時(shí)成膜應(yīng)用
• 形成狄登膜，絕緣膜，鈍化膜，保護(hù)膜等
• 用于電子零件和小規(guī)模生產(chǎn)的研發(fā)
