1.Batch式高真空蒸發(fā)設(shè)備ei系列是可對應(yīng)在基板上成金屬膜或氧化物膜的設(shè)備?？赏ㄟ^操作面板進(jìn)行集中控制，實現(xiàn)抽真空、成膜等作業(yè)內(nèi)容的集中自動化操作，適用于研究開發(fā)及少量生產(chǎn)
2.蒸發(fā)材料：金屬，ITO，二氧化硅等材料
產(chǎn)品特性：
• 金屬,合金,非金屬,化合物等材料的高品質(zhì)蒸發(fā)鍍膜
• 鍍膜精度高,可達(dá)10E-10m
• 蒸發(fā)鍍膜的純度高,附著力強
• 鍍膜的均勻性好,重復(fù)性優(yōu)異
• 配置離子源進(jìn)行表面處理
• 配置熱阻蒸發(fā),省材料
• 上位通信,材料掃描功能
• C2～12inch,不定型片,方片蒸發(fā)
產(chǎn)品應(yīng)用：
• 功率器件
• LED
• 光通信/傳感器
• LD
• 高校及研究所等
產(chǎn)品特性：
• 金屬,合金,非金屬,化合物等材料的高品質(zhì)蒸發(fā)鍍膜
• 鍍膜精度高,可達(dá)10E-10m
• 蒸發(fā)鍍膜的純度高,附著力強
• 鍍膜的均勻性好,重復(fù)性優(yōu)異
• 配置離子源進(jìn)行表面處理
• 配置熱阻蒸發(fā),省材料
• 上位通信,材料掃描功能
• C2～12inch,不定型片,方片蒸發(fā)
產(chǎn)品應(yīng)用：
• 功率器件
• LED
• 光通信/傳感器
• LD
• 高校及研究所等
產(chǎn)品特性：
• 金屬,合金,非金屬,化合物等材料的高品質(zhì)蒸發(fā)鍍膜
• 鍍膜精度高,可達(dá)10E-10m
• 蒸發(fā)鍍膜的純度高,附著力強
• 鍍膜的均勻性好,重復(fù)性優(yōu)異
• 配置離子源進(jìn)行表面處理
• 配置熱阻蒸發(fā),省材料
• 上位通信,材料掃描功能
• C2～12inch,不定型片,方片蒸發(fā)
產(chǎn)品應(yīng)用：
• 功率器件
• LED
• 光通信/傳感器
• LD
• 高校及研究所等
