產(chǎn)品簡介:
它是一種多室型濺射裝置,可以配備多個處理室(*多3個腔室200E,*多5個腔室200J和*多7個腔室200)
產(chǎn)品特性:
• 可運輸Φ200mm板
• 作為處理室的各種模塊的陣容
• 介電模塊
• 高溫成膜模塊
• 精密分配模塊
• 蝕刻模塊
產(chǎn)品應(yīng)用:
• 電子零件
• 微機電系統(tǒng)
• 動力裝置
• 發(fā)光二極管
產(chǎn)品簡介:
它是一種多室型濺射裝置,可以配備多個處理室(*多3個腔室200E,*多5個腔室200J和*多7個腔室200)
產(chǎn)品特性:
• 可運輸Φ200mm板
• 作為處理室的各種模塊的陣容
• 介電模塊
• 高溫成膜模塊
• 精密分配模塊
• 蝕刻模塊
產(chǎn)品應(yīng)用:
• 電子零件
• 微機電系統(tǒng)
• 動力裝置
• 發(fā)光二極管