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·通過磁場輔助，可以產(chǎn)生比其他ICP方式低壓力、低電子溫度、高密度等離子體，從離子性蝕刻到自由基性蝕刻，可以進(jìn)行寬范圍的等離子體控制，因此可以對應(yīng)于作為開發(fā)tool的多用過程。
·搭載了防止RF投入窗的沉積物附著的“Star電極”。另外，具有加熱功能，重視再現(xiàn)性和穩(wěn)定性的裝置概念。
·實(shí)現(xiàn)作為高可靠性輸送機(jī)器人、裝置構(gòu)造簡單、維護(hù)簡單等研究開發(fā)Tool的可靠性。
·還可以追加豐富的可選功能和暗盒室。
·面向批量生產(chǎn)線，推出了由同一個(gè)Chamber構(gòu)成的支持多個(gè)Chamber的NE-5700、NE-7700。
·化合物材料（LED、LD、高頻器件和功率器件）。
·電極加工、金屬布線、有機(jī)膜、陶瓷等加工。
·用于加工鐵電體、貴金屬、磁性膜等難蝕刻材料。
·納米壓印、NEMS、MEMS、各種傳感器。
·生物芯片、微流體裝置、光子晶體等。
| 產(chǎn)品名稱 | 參考價(jià) | 地區(qū) | 公司名稱 | 更新時(shí)間 | |
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| JZKC-JMZK05A精密阻抗分析儀-電子/半導(dǎo)體檢測儀器 | 面議 | 北京市 | 北京精科智創(chuàng)科技發(fā)展有限公司 | 2019-10-11 | 在線詢價(jià) |
| PL系列脈沖電流源原理-電子/半導(dǎo)體檢測儀器 | 面議 | 武漢市 | 武漢普賽斯儀表有限公司 | 2024-01-01 | 在線詢價(jià) |
| 出租租賃電線電纜電阻測試儀-電子/半導(dǎo)體檢測儀器 | 面議 | 北京市 | 北京北信創(chuàng)展自動化技術(shù)有限公司 | 2017-04-11 | 在線詢價(jià) |
| SDJ-6N型振動監(jiān)測保護(hù)儀（智能化） 電子/半導(dǎo)體檢測儀器 | 面議 | 上海市 | 上海驊鷹自動化儀表有限公司 | 2023-04-01 | 在線詢價(jià) |
| SDJ-3BS，SDJ-3LS型振動監(jiān)測保護(hù)儀 電子/半導(dǎo)體檢測儀器 | 面議 | 上海市 | 上海驊鷹自動化儀表有限公司 | 2023-04-01 | 在線詢價(jià) |
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