納米定位器SL系列規(guī)格參數(shù)
型號(hào) | SL-0610 | SL-0620 | SL-0630 |
分辨率 | <50nm | <50nm | <50nm |
負(fù)載 | 3N(100g) | 1N(100g) | 1N(100g) |
適合真空度 | 10-11 mbar | 10-11 mbar | 10-11 mbar |
行程范圍 | ± 2.25 (4.5) mm | ± 5.5 (11) mm | ± 8 (16) mm |
步進(jìn)1 | 1-1500nm | 1-1500nm | 1-1500nm |
掃描分辨率 | 50 nm | 50 nm | 50 nm |
速度 | >15mm/s | >15mm/s | >15mm/s |
頻率 | 18.5KHz | 18.5KHz | 18.5KHz |
阻尼力Fb | >1.6N | >1.6N | >1.6N |
正向力Fn | 1N | 1N | 1N |
升力Fl | 0.35N | 0.35N | 0.35N |
尺寸 | 11x11x5.2 mm3 | 21 x 11 x 5.2 mm3 | 31 x 11 x 5.2 mm3 |
重量 | 約3g | 約6g | 約9g |
pitch俯仰力矩Mp | 0.1Nm | 0.1Nm | 0.1Nm |
yaw偏航力矩My | 0.1Nm | 0.1Nm | 0.1Nm |
roll扭轉(zhuǎn)力矩Mr | 0.1Nm | 0.1Nm | 0.1Nm |
真空度兼容可選
-HV (10-6 mbar), UHV / UHVT (10-11 mbar)