緊湊型高速六軸搖擺臺是微型六自由度搖擺臺hexapod,適合高精度六自由度定位應(yīng)用。
緊湊型六軸搖擺臺特色
直徑120mm
高速度+/-30mm/s
負載高達5kg
編碼器
中間位置定位104mm
緊湊型高速六軸搖擺臺典型應(yīng)用
儀器科學(xué)與技術(shù)
航空航天
光學(xué)
計量
天文學(xué)
半導(dǎo)體等
緊湊型高速六軸搖擺臺規(guī)格參數(shù)
行程范圍Tx,Ty：+/-18mm
行程范圍：Tz： +/-6.5mm
行程范圍：Rx,Ry:+/-10度
行程范圍：Rz: +/-21度
分辨率Tx,Ty: 0.1um
分辨率Tz: 0.08um
分辨率：Rx, RY: 2.5urad
分辨率：Rz: 3.5urad
重復(fù)精度Tx,Ty,Tz: +/-0.25um
重復(fù)精度Rx,Ry,Rz:+/-4urad
速度Tx, Ty: 30mm/s
速度：Tz: 20mm/s
速度Rx Ry: 15度/秒
速度Rz : 20度/秒
負載: 5kg
剛度 XY: 0.3N/um
剛度Z: 5N/um
工作溫度：0-50℃
位移平臺： dia100mm
中間通孔：dia 50mm
自身重量：1kg
線纜長度：2.5m
供電要求：110-240VAC