高精度六足位移臺是六軸定位臺hexapod,具有穩(wěn)定的6DOF系統(tǒng)，旨在以高精度和1.5µrad的分辨率在空間中定位,適合高精度六自由度定位應(yīng)用。
高精度六足位移臺具有高分辨率執(zhí)行器和高精度球形接頭的配置和集成使KUBAN六足能夠?qū)崿F(xiàn)高性能的分辨率和可重復(fù)性，有效載荷高達(dá)500公斤。
高精度六足位移臺特色
高度600mm
負(fù)載高達(dá)500kg
分辨率+/-2.5urad
編碼器
高精度六足位移臺典型應(yīng)用
儀器科學(xué)與技術(shù)
航空航天
光學(xué)
計量
天文學(xué)
半導(dǎo)體等

高精度六足位移臺規(guī)格參數(shù)
行程范圍Tx,Ty：+/-75mm
行程范圍：Tz： +/-45mm
行程范圍：Rx,Ry:+/-5度
行程范圍：Rz: +/-10度
分辨率Tx,Ty: 0.2um
分辨率Tz: 0.1um
分辨率Rx, Ry: 1.5urad
分辨率Rz: 2urad
重復(fù)精度Tx,Ty: +/-0.5um
重復(fù)精度Tz: +/-0.25um
重復(fù)精度Rx,Ry:+/-2.5urad
重復(fù)精度Rz: +/-4urad
速度Tx, Ty: 0.9mm/s
速度：Tz: 0.4mm/s
速度Rx Ry: 0.12度/秒
速度Rz : 0.3度/秒
負(fù)載: 500kg
工作溫度：0-50℃
位移平臺： dia450mm
中間通孔：dia 200mm
自身重量：140kg
線纜長度：5m
供電要求：110-240VAC