高精度六自由度平臺(tái)特色
行程范圍75mm
負(fù)載高達(dá)200kg
角行程范圍+/-22度
編碼器
高精度六自由度平臺(tái)典型應(yīng)用
儀器科學(xué)與技術(shù)
航空航天
光學(xué)
計(jì)量
天文學(xué)
半導(dǎo)體等
高精度六自由度平臺(tái)規(guī)格參數(shù)
行程范圍Tx,Ty:+/-75mm
行程范圍:Tz: +/-50mm
行程范圍:Rx,Ry:+/-20度
行程范圍:Rz: +/-22度
分辨率Tx,Ty,Tz: 0.5um
分辨率Rx, Ry,Rz: 2.5urad
重復(fù)精度Tx,Ty,Tz: +/-0.5um
重復(fù)精度Rx,Ry,Rz:+/-2.5urad
速度Tx, Ty: 6mm/s
速度:Tz: 4mm/s
速度Rx Ry: 1.5度/秒
速度Rz : 2.25度/秒
負(fù)載: 200kg
剛度 XY:5N/um
剛度Z: 32N/um
工作溫度:0-50℃
位移平臺(tái): dia289mm
中間通孔:dia 120mm
自身重量:34kg
線纜長(zhǎng)度:3m
供電要求:110-240VAC