小型六自由度搖擺臺特色
行程范圍30mm
負(fù)載高達(dá)25kg
分辨率:0.5um
小型六自由度搖擺臺典型應(yīng)用
儀器科學(xué)與技術(shù)
航空航天
光學(xué)
計量
天文學(xué)
半導(dǎo)體等
小型六自由度搖擺臺規(guī)格參數(shù)
行程范圍Tx,Ty:+/-30mm
行程范圍:Tz: +/-20mm
行程范圍:Rx,Ry:+/-11度
行程范圍:Rz: +/-20度
分辨率Tx,Ty,Tz: 0.5um
分辨率Rx, Ry,Rz: 5urad
重復(fù)精度Tx,Ty,Tz: +/-0.75um
重復(fù)精度Rx,Ry,Rz:+/-3.2urad
速度Tx, Ty: 3mm/s
速度:Tz: 1.25mm/s
速度Rx Ry: 1.25度/秒
速度Rz : 0.75度/秒
負(fù)載: 25kg
剛度 XY:1.75N/um
剛度Z: 30N/um
工作溫度:0-50℃
位移平臺: dia250mm
中間通孔:dia 100mm
自身重量:5.6kg
線纜長度:3m
供電要求:110-240VAC