FPSMA-SLC-24 線性納米定位器光學(xué)表面分析儀-儀表網(wǎng)

線性納米定位器SLC-24系列是高精度納米線性定位器,具有SLC-2430,SLC-2445,SLC-2460,SLC-2475,SLC-2490,SLC-24105,SLC-24120,SLC-24150,SLC-24180型號各種寬度和高度,非常適合微納定位系統(tǒng)使用,具有可靠的穩(wěn)定性和*的定位精度

線性納米定位器光學(xué)表面分析儀產(chǎn)品詳情

線性納米定位器SLC-24系列是高精度納米線性定位器,具有SLC-2430,SLC-2445,SLC-2460,SLC-2475,SLC-2490,SLC-24105,SLC-24120,SLC-24150,SLC-24180型號各種寬度和高度,非常適合微納定位系統(tǒng)使用,具有可靠的穩(wěn)定性和*的定位精度。這些線性定位器還具有非磁性材料類型,能夠兼容10^-11mbar真空環(huán)境。

線性納米定位器SLC-24系列具有緊湊的結(jié)構(gòu)和微小的外形尺寸,可以植入位置傳感器從而更好地勝任微納定位任務(wù).
線性納米定位器SLC-24系列產(chǎn)品都能達(dá)到blocking force FB > 3.5 N, 力FN~30 N,Lift force FL>11.5N,速度達(dá)到20mm/s。
線性納米定位器SLC-24系列規(guī)格參數(shù)

型號	SLC-2430	SLC-2445	SLC-2460	SLC-2475	SLC-2490	SLC-24105	SLC-24120	SLC-24150	SLC-24180
分辨率	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm
負(fù)載	20N(2kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)	30N(3kg)
適合真空度	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar	10-11 mbar
行程范圍	16mm （±6mm)	29mm （±14.5mm)	35mm （±17.5mm)	49mm （± 24.5mm)	63mm （± 31.5mm)	69mm （± 34.5mm)	83mm （± 41.5mm)	± 51.5 (103) mm	± 61.5 (123) mm
步進1	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm	1-1500nm
掃描范圍	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um	>1.5um
掃描分辨率	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm	<1nm
速度	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s	>20mm/s
頻率	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz	18.5KHz
阻尼力Fb	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N	>3.5N
正向力Fn	20N	30N	30N	30N	30N	30N	30N	30N	30N
升力Fl	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N	>1.5N
尺寸	30x24x10.5 mm^3	45x24x10.5 mm^3	60x24x10.5 mm^3	75x24x10.5 mm^3	90x24x10.5 mm³	105x24x10.5x mm³	120x24x10.5 mm^3	150x24x10.5 mm^3	180x24x10.5 mm^3
重量	36g	54g	72g	90g	108g	126g	144g	180g	216g
pitch俯仰力矩Mp	2.2Nm	7.5Nm	12.8Nm	18.1Nm	29.5Nm	37.5 Nm	49.1Nm	49.1Nm	49.1Nm
yaw偏航力矩My	2.2Nm	7.5Nm	12.8Nm	18.1Nm	29.5Nm	37.5 Nm	49.1Nm	49.1Nm	49.1Nm
roll扭轉(zhuǎn)力矩Mr	1.5Nm	2.6Nm	3.2Nm	3.9Nm	4.8Nm	5.8Nm	6.1Nm	6.1Nm	6.1Nm
Closed-Loop-S 傳感器分辨率	1nm	1nm	1nm	1nm	1nm	1nm	1nm	1nm	1nm
Closed-Loop-S 重復(fù)精度2	+/-30nm	+/-45nm	+/-60nm	+/-75nm	+/-90nm	+/-105nm	+/-120nm	+/-150nm	+/-180nm
Closed-Loop-L 傳感器分辨率	4nm	4nm	4nm	4nm	4nm	4nm	4nm	4nm	4nm
Closed-Loop-L 閉環(huán)分辨率	±500nm(H)CU 4nm MCS	±500nm(H)CU 4nm MCS	±500nm(H)CU 4nm MCS	±500nm(H)CU 4nm MCS	±500nm(H)CU 4nm MCS	±500nm(H)CU 4nm MCS	±500nm(H)CU 4nm MCS	±500nm(H)CU 4nm MCS	±500nm(H)CU 4nm MCS
Closed-Loop-L 重復(fù)精度	±1um(H)CU ±60nm MCS	±1um(H)CU ±90nm MCS	±1um(H)CU ±120nm MCS	±1um(H)CU ±150nm MCS	±1um(H)CU ±180nm MCS	±1um(H)CU ±210nm MCS	±1um(H)CU ±240nm MCS	±1um(H)CU ±300nm MCS	±1um(H)CU ±360nm MCS

關(guān)鍵詞：位置傳感器傳感器

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