国产精品成人网站,日韩视频二区,亚洲成人手机电影,怡红院国产

服務(wù)咨詢

產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展供應(yīng)

發(fā)布詢價單
儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫>測量/計量>其它測量>其它測量>反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)
  • 反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)

反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2021-03-01
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限7
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量122
  • 人氣值1714
產(chǎn)品標(biāo)簽

客服在線 索取相關(guān)資料 在線詢價

聯(lián)系方式:張先生 查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是 儀表網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!

同類產(chǎn)品

親愛的讀者,親愛的用戶:

       謝謝您瀏覽我們的!您的要求,您的技術(shù)和科研困難和問題,您的意見和建議,以及您的各種評論都是我們的機(jī)會。希望您能積極與我們交流,讓我們能為您提供服務(wù)和幫助,為您提供實用的解決方案。祝你們多出成果,出好成果!

       科睿設(shè)備有限公司為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備,周到的技術(shù)、服務(wù)和*的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家*接軌的儀器設(shè)備平臺來實現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。

點擊展示更多內(nèi)容
產(chǎn)品描述:反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng) 在線訂購
反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)

RIE,全稱是Reactive Ion Etching,反應(yīng)離子刻蝕,是一種微電子干法腐蝕工藝。
RIE是干蝕刻的一種,這種蝕刻的原理是,當(dāng)在平板電極之間施加10~100MHZ的高頻電壓(RF,radio frequency)時會產(chǎn)生數(shù)百微米厚的離子層(ion sheath),在其中放入試樣,離子高速撞擊試樣而完成化學(xué)反應(yīng)蝕刻,此即為RIE(Reactive Ion Etching)。因此為了得到高速而垂直的蝕刻面,經(jīng)加速的多數(shù)離子不能與其他氣體分子等碰撞,而直接向試樣撞擊。為達(dá)到此目的,必須對真空度,氣體流量,離子加速電壓等進(jìn)行調(diào)整,同時,為得到高密度的等離子體,需用磁控管施加磁場,以提高加工能力。
我司提供多型號的RIE刻蝕系統(tǒng),滿足國內(nèi)客戶研究和生產(chǎn)的需要。

深反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng)(Deep Reactive Ion Etching System)
RE系列反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng)帶有淋浴頭式樣的氣體分配系統(tǒng)及水冷射頻壓盤,柜體為不銹鋼材質(zhì)。反應(yīng)腔體為13英寸鋁制、從頂端打開方便晶片裝載取出,大可進(jìn)行8英寸直徑樣品實驗,帶有兩個艙門:一個艙門帶有2英寸視窗,另一個艙門用于終點探測及其他診斷。腔體可達(dá)到10-6 Torr壓力或更高,自直流偏置連續(xù)監(jiān)控、大可達(dá)到500伏偏電壓(各向異性蝕刻)。該反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng)為*由計算機(jī)控制的全自動設(shè)備。
DRIE系列深反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng)帶有低溫晶片冷卻及偏置壓盤,設(shè)備使用2kw 8英寸ICP源,使用500L/秒的渦輪泵,在10-3Torr壓力范圍運行。

RIE 設(shè)備參數(shù):
鋁材腔體或不銹鋼腔體;
不銹鋼盒;
可以刻蝕硅化物(~400 ? /min)或金屬;
典型硅刻蝕速率 400 ? /min;
射頻源: 大12”陽極化射頻平板(RF);
真空度:大約20分鐘內(nèi)達(dá)到1E-6Torr,極限真空5E-7Torr;
雙刻蝕容量:RIE和等離子刻蝕;
氣動升降蓋;
手動/全自動裝卸樣品;
預(yù)抽真空室;
電腦控的高密度等離子源進(jìn)行各向同性蝕刻(isotropic etching);
2. ICP等離子源,2KW射頻電源及調(diào)諧器;
3. 低溫基底冷卻(Cryogenic substrate cooling);
4. 終點探測(End point detection) ;
5. 蘭繆爾探針;
6. 靜電卡盤(Electrostatic chuck);
7. 附加MFC’s;
8. 1KW射頻電流源及調(diào)諧器;
9. 低頻電流源及調(diào)諧器;


熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
艾德克斯ITECH 微功耗量測以及材料研究精密源表 IT2805 200V1.5A20W 面議 深圳市 深圳市賽儀歐電子有限公司 2024-12-26 在線詢價
自動測量圖像尺寸設(shè)備 ¥560000 深圳市 深圳市中圖儀器股份有限公司 2024-08-11 在線詢價
羅卓尼克USB接口水活性快速測量探頭 面議 無錫市 無錫徽科特測控技術(shù)有限公司 2024-07-09 在線詢價
激光功率測量系統(tǒng) LPMS 面議 上海倍藍(lán)光電科技有限公司 2024-04-23 在線詢價
水分活度測量儀廠商 面議 常州市 常州金壇泰納儀器廠 2024-08-29 在線詢價
防爆油箱油位測量裝置 面議 無錫市 無錫市興洲儀器儀表有限公司 2024-09-27 在線詢價
免責(zé)申明

所展示的信息由會員自行提供,內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會員負(fù)責(zé),儀表網(wǎng)對此不承擔(dān)任何責(zé)任。儀表網(wǎng)不涉及用戶間因交易而產(chǎn)生的法律關(guān)系及法律糾紛,糾紛由您自行協(xié)商解決

友情提醒 :本網(wǎng)站僅作為用戶尋找交易對象,就貨物和服務(wù)的交易進(jìn)行協(xié)商,以及獲取各類與貿(mào)易相關(guān)的服務(wù)信息的平臺。為避免產(chǎn)生購買風(fēng)險,建議您在購買相關(guān)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。過低的價格、夸張的描述、私人銀行賬戶等都有可能是虛假信息,請采購商謹(jǐn)慎對待,謹(jǐn)防欺詐,對于任何付款行為請您慎重抉擇!如您遇到欺詐等不誠信行為,請您立即與儀表網(wǎng)聯(lián)系,如查證屬實,儀表網(wǎng)會對該企業(yè)商鋪做注銷處理,但儀表網(wǎng)不對您因此造成的損失承擔(dān)責(zé)任!

關(guān)于我們|網(wǎng)站導(dǎo)航|本站服務(wù)|會員服務(wù)|網(wǎng)站建設(shè)|特色服務(wù)|旗下網(wǎng)站|友情鏈接|在線投訴|興旺通|供應(yīng)信息

儀表網(wǎng)-儀器儀表行業(yè)“互聯(lián)網(wǎng)+”服務(wù)平臺

Copyright ybzhan.cn All Rights Reserved法律顧問:浙江天冊律師事務(wù)所 賈熙明律師ICP備案號:浙B2-20100369-24

客服熱線:0571-87756399,87759942加盟熱線:0571-87756399展會合作:0571-87759945客服郵箱:873582202@qq.com 投稿郵箱:ybzhan@qq.com

網(wǎng)站客服:服務(wù)咨詢:對外合作:儀表采購群: 儀表技術(shù)群:

版權(quán)所有©浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司


提示

×

*您想獲取產(chǎn)品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息: