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MBE 系統(tǒng)

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  • 更新時(shí)間2023-02-26
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限6
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量122
  • 人氣值1641
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產(chǎn)品描述:MBE 系統(tǒng) 在線訂購
MBE 系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

MBE系統(tǒng)

帶快速進(jìn)樣室的獨(dú)立 MBE 系統(tǒng)

  • 本底真空優(yōu)于2x10-10mbar
  • 4 軸操縱器,可直接連接電子光束加熱至 1200 °C 和 液氮LN2冷卻
  • Load-Lock進(jìn)樣室與線性傳輸桿,使樣品夾具傳輸方便。最多可存儲(chǔ)6個(gè)樣品夾具。
  • 沉積室包含用于 RHEED 槍、離子槍、光束通量監(jiān)視器、石英晶體天平等的端口。
  • 可更換底部法蘭,帶專用起重推車
  • 沉積室中可防止交叉污染

樣品沉積室配備了用于分析儀器等的其他端口。

根據(jù)蒸發(fā)源的類型和數(shù)量以及基板大小,可提供不同的標(biāo)準(zhǔn)襯底尺寸:直徑300mm、直徑450mm 和 直徑570mm(根據(jù)要求的其他尺寸)。





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