納米定位掃描平臺采用單片金屬體鋁合金制成,采用了EDM電線腐蝕和其他精密機(jī)械手段構(gòu)建,納米掃描臺該種設(shè)計(jì)使得運(yùn)動有著近*的直線度和平面度,與使用壓電陶瓷管的納米掃描臺相比,它具有高機(jī)械強(qiáng)度并可球面納米掃描。
納米定位掃描平臺技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號 | PK2L135-005U | PK2L135-005U-S | 公差 | 運(yùn)動自由度 | X、Y | X、Y | - | 傳感器類型 | - | Strain Gage | - | 標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V) | 5 μm/軸 | 5 μm/軸 | ±20% | 行程范圍(@-20~+150V) | 8 μm/軸 | 8 μm/軸 | ±20% | 分辨率 | 0.2 nm | 0.5 nm | typ. | 重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | 線性度 | - | 0.1% F.S. | typ. | 承載能力 | 30 N | 30 N | Max. | 剛度 | 0.5 N/μm | 0.5 N/μm | ±20% | 諧振頻率 | 0g | (X)330 Hz、(Y)330 Hz | (X)330 Hz、(Y)330 Hz | ±20% | 靜電容量 | 0.6 μF/軸 | 0.6 μF/軸 | ±20% | 工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | 驅(qū)動電壓范圍(*)1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | 線纜長度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | 外形尺寸(LxH) | 138×138×17 mm | 138×138×17 mm | - | 重量 | 500 g | 500 g | ±5% | 本體材質(zhì)2 | 鋁(B) | 鋁(B) | - | |
主要特點(diǎn)
- 亞納米的分辨率
- 高的帶寬
- 高速響應(yīng)
- 高的可靠性
- 壓電陶瓷驅(qū)動
- 柔性鉸鏈設(shè)計(jì)
- 電容位移傳感器閉環(huán)反饋
- 雙傳感器設(shè)計(jì)
產(chǎn)品應(yīng)用:
顯微掃描、跟蹤 • 三維成像 • 高分辨率顯微鏡 • 共聚焦顯微鏡 • 生物技術(shù) • 納米定位 • 干涉 • 計(jì)量