XYZ三維壓電掃描臺是為壓電掃描定位設(shè)計的三維壓電掃描臺和XYZ電掃描臺,廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電掃描,原子力顯微鏡壓電掃描和微納操作,非常在開放和閉環(huán)系統(tǒng)中的光學(xué)元件壓電掃描定位和掃描探針壓電掃描應(yīng)用。
XYZ三維壓電掃描臺批發(fā)價格主要特點
- 亞納米級的分辨率
- 高的帶寬
- 高速響應(yīng)
- 高的可靠性
- 結(jié)構(gòu)緊湊
- 壓電陶瓷驅(qū)動
- 柔性鉸鏈設(shè)計
- 安裝簡單和簡單的圖像校準
- 電容位移傳感器閉環(huán)反饋
- 遲滯/線性誤差<0.005%
XYZ三維壓電掃描臺批發(fā)價格應(yīng)用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學(xué)應(yīng)用
生物學(xué)研究
電子學(xué)應(yīng)用
微操作
規(guī)格
運動特性
主動軸 XY(Z)
XY運動范圍, µm 200 x 200
Z軸運動距離, µm 20
分辨率(閉環(huán))nm 1
分辨率(開環(huán)),nm 0.1
整范圍內(nèi)的角度傾斜,° <0.01
大掃描速度, Hz 10
控制性能
XY軸電容量, pF 30
Z軸電容量, pF 35
機械性能
諧振頻率Z軸, kHz 30
諧振頻率 XY, kHz 1
負載容量, g 100
操作溫度范圍,°C - 40…80
尺寸,mm 100 x 100 x 33 mm
材料 鋁