1~3維精密壓電納米掃描臺(tái)采用單片金屬體鋁合金制成,采用了EDM電線腐蝕和其他精密機(jī)械手段構(gòu)建,納米掃描臺(tái)該種設(shè)計(jì)使得運(yùn)動(dòng)有著近*的直線度和平面度,與使用壓電陶瓷管的納米掃描臺(tái)相比,它具有高機(jī)械強(qiáng)度并可球面納米掃描。
1~3維精密壓電納米掃描臺(tái)型號(hào)說明:
產(chǎn)品型號(hào) | PK3L60-080U | PK3L60-080U-S | 公差 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
傳感器類型 | - | Strain Gage | - | |
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V) | 80 μm/軸 | 80 μm/軸 | ±20% | |
行程范圍(@-20~+150V) | 100 μm/軸 | 100 μm/軸 | ±20% | |
分辨率 | 5 nm | 7 nm | typ. | |
重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
線性度 | - | 0.15% F.S. | typ. | |
承載能力 | 6 N | 6 N | Max. | |
剛度 | 0.8 N/μm | 0.8 N/μm | ±20% | |
諧振頻率 | 0g | (X)210 Hz、(Y)210 Hz、 (Z)190 Hz | (X)210 Hz、(Y)210 Hz、 (Z)190 Hz | ±20% |
靜電容量 | 1.6 μF/軸 | 1.6 μF/軸 | ±20% | |
工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
驅(qū)動(dòng)電壓范圍(*)1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
線纜長(zhǎng)度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | |
外形尺寸(LxH) | 60×60×24 mm | 60×60×24 mm | - | |
重量 | 180 g | 180 g | ±5% | |
本體材質(zhì)2 | 鋁(B)、鋼 | 鋁(B)、鋼 |
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 超薄的外形尺寸;
◆ 超大行程;
◆ 采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng),有效消除側(cè)向運(yùn)動(dòng)分量;
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷,高可靠性;
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋,開/閉環(huán)可供選擇。
產(chǎn)品規(guī)格
XY范圍 100x100 µm
zui小掃描步進(jìn) 0.1 nm
整范圍內(nèi)的角度傾斜 < 0001°
zui大掃描速度 10 Hz(行/秒)
zui大樣品重量 100g
諧振頻率XY 1 kHz
非線性殘余 ≤0.03%
傳感器類型 電容傳感器
內(nèi)置TDC(時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換器)位數(shù) 24位