1~3維精密微動(dòng)壓電平臺(tái)內(nèi)置高性能壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，采用SGS傳感器閉環(huán)，實(shí)現(xiàn)精密高速定位運(yùn)動(dòng)，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成，采用分離式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，減小了兩自由度之間的耦合，采用高可靠性的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有較高的重復(fù)定位精度和納米級(jí)位移分辨率，機(jī)體材料分鋁合金，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu)；采用*的表面處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力。
1~3維精密微動(dòng)壓電平臺(tái)典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 納米定位
• 生物技術(shù) • 半導(dǎo)體技術(shù)
• 質(zhì)量保證測(cè)試 • 微車(chē)削
• 原子力顯微鏡
■ 產(chǎn)品特性
1.采用高性能的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng);
2.具有開(kāi)環(huán)和閉環(huán)兩種規(guī)格型號(hào);
3.采用數(shù)控、線(xiàn)切割等加工工藝，嚴(yán)格保證構(gòu)結(jié)精度;
4.采用計(jì)算機(jī)有限元仿真分析等現(xiàn)代設(shè)計(jì)方法設(shè)計(jì)微動(dòng)結(jié)構(gòu)；
5.采用*的表面處理工藝，提高了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力；
6.超高性能的開(kāi)/閉環(huán)掃描平臺(tái)。
型號(hào)說(shuō)明：
| 產(chǎn)品型號(hào) | PK3L60-080U | PK3L60-080U-S | 公差 | |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | X、Y、Z | X、Y、Z | - | |
| 傳感器類(lèi)型 | - | Strain Gage | - | |
| 標(biāo)稱(chēng)行程范圍（@0~+120V） | 80 μm/軸 | 80 μm/軸 | ±20% | |
| 行程范圍（@-20~+150V） | 100 μm/軸 | 100 μm/軸 | ±20% | |
| 分辨率 | 5 nm | 7 nm | typ. | |
| 重復(fù)定位精度 | - | 0.05% F.S. | typ. | |
| 線(xiàn)性度 | - | 0.15% F.S. | typ. | |
| 承載能力 | 6 N | 6 N | Max. | |
| 剛度 | 0.8 N/μm | 0.8 N/μm | ±20% | |
| 諧振頻率 | 0g | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | （X）210 Hz、（Y）210 Hz、 （Z）190 Hz | ±20% |
| 靜電容量 | 1.6 μF/軸 | 1.6 μF/軸 | ±20% | |
| 工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | -10~+70 ℃ | - | |
| 驅(qū)動(dòng)電壓范圍（*）1 | 0~+120 V | 0~+120 V | typ. | |
| 線(xiàn)纜長(zhǎng)度 | 1.5 m/軸 | 1.5 m/軸 | ±10mm | |
| 外形尺寸(LxH) | 60×60×24 mm | 60×60×24 mm | - | |
| 重量 | 180 g | 180 g | ±5% | |
| 本體材質(zhì)2 | 鋁（B）、鋼 | 鋁（B）、鋼 | ||
