超精密壓電紅外掃描器 內(nèi)部采用并聯(lián)式結(jié)構(gòu)設計,結(jié)構(gòu)緊湊,所有促動器作用在同一個移動臺面上,可同時實現(xiàn)多軸運動且每軸具有相同的動態(tài)性。對比嵌套式或疊堆式的串聯(lián)結(jié)構(gòu),并聯(lián)結(jié)構(gòu)有著更輕的質(zhì)量,更低的慣量和更高的動態(tài)性。中空式設計,且*通孔較大,可更好的集成于紅外熱成像掃描系統(tǒng)中。
應用:
原子力顯微鏡 高分辨率CCD 三維共焦顯微 激光平面干涉 納米光刻 紅外熱成像掃描 光纖對接 納米光刻
超精密壓電紅外掃描器特點:
1-3維運動
大運動范圍370μm
一體式結(jié)構(gòu)設計,多維運動無耦合
大透光孔徑35mm
閉環(huán)精度可達0.15%F.S.
技術參數(shù):
產(chǎn)型號 | PK2H52-012U | 公差 | |
運動自由度 | X、Y | - | |
傳感器類型 | - | - | |
標稱行程范圍(@0~+120V) | 17 μm | ±20% | |
zui大行程范圍(@-20~+150V) | 12 μm | ±20% | |
分辨率 | 0.1 nm | typ. | |
重復定位精度 | - | typ. | |
線性度 | - | typ. | |
承載能力 | 2.5 N | Max. | |
剛度 | (X)1.5 N/μm、(Y)1.5 N/μm | ±20% | |
諧振頻率 | 0g | (X)1000 Hz、(Y)1000 Hz | ±20% |
靜電容量 | 1.8 μF/軸 | ±20% | |
工作溫度范圍 | -10~+70 ℃ | - | |
驅(qū)動電壓范圍(*)1 | 0~+120 V | typ. | |
線纜長度 | 1.5 m | ±10mm | |
中孔尺寸 | Ø25.5×23mm | - | |
外形尺寸(LxH) | 58×52×10 mm | - | |
重量 | 60 g | ±5% | |
本體材質(zhì)2 | 鋁(W) | - |
說明:1.zui大驅(qū)動電壓可在-20V~+150V使用;*使用建議在0~120V驅(qū)動電壓下可延長使用壽命。2.表面處理:白色(W)/黑色(B)。