摘要NS系列膜厚臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。儀器采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀...

摘要 中圖儀器NS系列接觸式臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。它對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測(cè)量中使用非常廣泛的微納樣品測(cè)量手段。

摘要 中圖儀器NS臺(tái)階儀探針式表面輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)。它可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。

摘要 NS200國產(chǎn)臺(tái)階形貌儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x，其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測(cè)量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。

摘要 NS200國產(chǎn)臺(tái)階膜厚儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。其采用LVDC電容傳感器，具有的亞埃級(jí)分辨率和超微測(cè)力等特點(diǎn)使得其在ITO導(dǎo)電薄膜厚度的測(cè)量上具有很強(qiáng)的優(yōu)勢(shì)。

摘要 NS系列臺(tái)階輪廓儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

摘要 NS系列微觀表面臺(tái)階顯微檢測(cè)儀是利用光學(xué)干涉原理，通過測(cè)量膜層表面的臺(tái)階高度來計(jì)算出膜層的厚度，500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)，即時(shí)進(jìn)行高精度定位測(cè)量。可以將探針的形貌圖像傳輸?shù)娇刂齐娔X上，使得測(cè)量更加直觀。

摘要 NS200臺(tái)階厚度測(cè)量?jī)x能夠測(cè)量納米到330μm甚至1000μm的臺(tái)階高度，可以準(zhǔn)確測(cè)量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料，是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x。

摘要 針對(duì)測(cè)量ITO導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用場(chǎng)景，NS系列臺(tái)階厚度儀結(jié)合了360°旋轉(zhuǎn)臺(tái)的全電動(dòng)載物臺(tái)，能夠快速定位到測(cè)量標(biāo)志位；對(duì)于批量樣件，提供自定義多區(qū)域測(cè)量功能，實(shí)現(xiàn)一鍵多點(diǎn)位測(cè)量；提供SPC統(tǒng)計(jì)分析功能，直觀分析測(cè)量數(shù)值變化趨勢(shì)。

摘要NS200探針式臺(tái)階儀是一種接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x器，可以對(duì)微米和納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測(cè)量。臺(tái)階儀對(duì)測(cè)量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高、測(cè)量穩(wěn)定、便捷、高效，是微觀表面測(cè)量中使用...

摘要 NS200國產(chǎn)臺(tái)階儀能夠測(cè)量幾個(gè)納米到330μm的臺(tái)階高度。這使其可以準(zhǔn)確測(cè)量在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料；可以測(cè)量表面的2D形狀或翹曲。也能夠測(cè)量在生產(chǎn)中包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件所產(chǎn)生的應(yīng)力。

摘要 臺(tái)階儀

摘要 產(chǎn)品描述：Dektak Pro是布魯克新發(fā)布的一款的探針式輪廓儀/臺(tái)階儀，基于第十一代Dektak®系統(tǒng)，具有4 ?重復(fù)性的優(yōu)異表現(xiàn)，并提供200毫米平臺(tái)選項(xiàng)

摘要 P-7建立在市場(chǎng)的P-17臺(tái)式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上。 它保持了P-17技術(shù)的測(cè)量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了的性價(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。

摘要P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將行業(yè)的P-17臺(tái)式系統(tǒng)的測(cè)量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機(jī)械傳送臂系統(tǒng)提供了極低的擁有成本，適用于半導(dǎo)體，化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170可以對(duì)臺(tái)...

摘要P-17是第八代臺(tái)式探針輪廓儀，是40多年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶。該系統(tǒng)業(yè)界，支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺(tái)，因而具備出色的測(cè)量穩(wěn)定性。 ...

摘要Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的2D及3D測(cè)量，以及翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇...

摘要Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。探針測(cè)量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測(cè)量，與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對(duì)各種結(jié)構(gòu)...

摘要 KLA D-300探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測(cè)量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。

摘要 產(chǎn)品介紹 Alpha-Step D-500 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測(cè)量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。

摘要 產(chǎn)品介紹 KLA的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600，可測(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺(tái)階高度重復(fù)性以及亞埃級(jí)的分辨率。

摘要 產(chǎn)品介紹 KLA是半導(dǎo)體在線檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)較大的供應(yīng)商，在半導(dǎo)體、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、 MEMS 、太陽能、光電子 以及其他領(lǐng)域中有著不俗的。 P-7是KLA公司的第八代探針式臺(tái)階儀系統(tǒng)，歷經(jīng)技術(shù)積累和不 斷迭代更新，集合眾多技術(shù)優(yōu)勢(shì)。

摘要產(chǎn)品介紹 P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將行業(yè)的P-17臺(tái)式系統(tǒng)的測(cè)量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機(jī)械傳送臂系統(tǒng)提供了低成本，適用于半導(dǎo)體，化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170可以對(duì)...

摘要 產(chǎn)品介紹 P-17是第八代臺(tái)式探針輪廓儀。該系統(tǒng)業(yè)界，支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

摘要 產(chǎn)品介紹 Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測(cè)量。光學(xué)杠桿傳感 器技術(shù)提供高分辨率測(cè)量，大垂直范圍和低觸力測(cè)量功能。

摘要 日本KOSAKA臺(tái)階儀ET200用于測(cè)量半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。

摘要 產(chǎn)品描述：DektakXT臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）的技術(shù)突破，使納米尺度的表面輪廓測(cè)量成為可能。

摘要 適用于二次元表面納米等級(jí)段差臺(tái)階測(cè)定、粗糙度測(cè)定。

摘要布魯克 DektakXT 臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）是一項(xiàng)創(chuàng)新性的設(shè)計(jì)，可以提供的重現(xiàn)性，重現(xiàn)性低于4?。臺(tái)階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過去四十年Dektak 技術(shù)創(chuàng)新的，更加鞏固了其行業(yè)地位。通過整合其行業(yè)產(chǎn)品，DektakXT 實(shí)現(xiàn)了性能。操作簡(jiǎn)易，從研發(fā)到質(zhì)量控制都...

摘要 臺(tái)階儀D-300/500

摘要 D-600可以對(duì)幾納米到1200µm的2D和3D臺(tái)階高度、粗糙度、應(yīng)力進(jìn)行測(cè)量。

摘要 P-17支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，單次掃描高達(dá)200mm，無需圖像拼接測(cè)量。

摘要 Alpha-StepD-300探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量

摘要 品 牌：Bruker 產(chǎn) 地：德國 型 號(hào)：DEKTAK XT

摘要 日本KOSAKA ET200 臺(tái)階儀，日本KOSAKA ET200 臺(tái)階儀配備了各種型號(hào)探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。

摘要 超微力臺(tái)階儀/膜厚儀StylusSurfaceProfilometers簡(jiǎn)介：超微力臺(tái)階儀/膜厚儀Alpha-StepIQ是探針接觸式表面輪廓儀(臺(tái)階儀.膜厚儀)

摘要 日本KOSAKAET200接觸式臺(tái)階儀日本KOSAKAET200接觸式臺(tái)階儀基于Windows操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等

摘要 布魯克DektakXT臺(tái)階儀

摘要 產(chǎn)品描述P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將行業(yè)的P-17臺(tái)式系統(tǒng)的測(cè)量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合

摘要 產(chǎn)品描述P-17臺(tái)式探針式輪廓儀是第八代臺(tái)式探針輪廓儀，是40多年的表面量測(cè)經(jīng)驗(yàn)的結(jié)晶

摘要 產(chǎn)品描述Alpha-StepD-600探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度和粗糙度的2D及3D測(cè)量，以及翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量

摘要 產(chǎn)品描述P-7臺(tái)式探針式輪廓儀支持從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測(cè)量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境

摘要 產(chǎn)品描述Alpha-StepD-500探針式輪廓儀支持臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測(cè)量

摘要 產(chǎn)品描述HRP®-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探針式輪廓儀

摘要 產(chǎn)品描述Zeta-388光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測(cè)量系統(tǒng)