Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D 測量。光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術(shù)的一個優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)。可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行測量。通過測量粗糙度和應(yīng)力,可以對工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。
功能
臺階高度:幾納米至1000μm
低觸力:0.5至15mg
視頻:500萬像素率彩色攝像頭
梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差
緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀
主要應(yīng)用
臺階高度:2D臺階高度
紋理:2D粗糙度和波紋度
形式:2D翹曲和形狀
應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
SIMS:二次離子質(zhì)譜
LED:發(fā)光二極管 太陽能
MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)
汽車
醫(yī)療設(shè)備